双口无阀微泵的优化设计和研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·无阀微泵及其研究进展 | 第8-11页 |
| ·利用ANSYS进行微泵相关模拟的研究进展 | 第11-12页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 微泵的工作原理 | 第14-19页 |
| ·压电驱动原理 | 第14-15页 |
| ·扩散口/喷嘴原理 | 第15-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 微泵的ANSYS仿真 | 第19-30页 |
| ·ANSYS简介 | 第19-20页 |
| ·流固耦合分析 | 第20-21页 |
| ·建立模型 | 第21-23页 |
| ·前处理和求解设置 | 第23-24页 |
| ·后处理及结果分析 | 第24-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 微泵的制作工艺 | 第30-39页 |
| ·微泵的掩膜版设计 | 第30-32页 |
| ·微泵的制作 | 第32-37页 |
| ·超声清洗 | 第32-33页 |
| ·热氧化 | 第33-34页 |
| ·光刻 | 第34-35页 |
| ·硅的各向异性腐蚀 | 第35-36页 |
| ·微泵腔体加工和玻璃打孔 | 第36页 |
| ·静电键合 | 第36-37页 |
| ·无阀微泵的装配 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第5章 微泵的测试和结果分析 | 第39-44页 |
| ·测试设备和测试方法 | 第39-40页 |
| ·测试结果分析 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 结论 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-50页 |
| 附录A ANSYS仿真程序 | 第50-55页 |
| 附录B 微泵测试数据 | 第55-57页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
