| 第一章 绪论 | 第1-23页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·紫外探测器的分类 | 第10-14页 |
| ·宽禁带半导体基紫外探测器的国内外进展 | 第14-17页 |
| ·本论文的主要内容 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-23页 |
| 第二章 Zr_xTi_(1-x)O_2纳米薄膜的制备与表征 | 第23-51页 |
| ·纳米 TiO_2及 ZrO_2的性质 | 第23-27页 |
| ·纳米 TiO_2的晶体结构 | 第23-26页 |
| ·纳米 ZrO_2的晶体结构 | 第26-27页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2薄膜的制备 | 第27-31页 |
| ·溶胶凝胶法(sol-gel)原理 | 第28-29页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2纳米薄膜的制备 | 第29-31页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2薄膜的表征 | 第31-43页 |
| ·X 射线衍射分析（XRD）表征 | 第31-34页 |
| ·紫外-可见吸收分析（UV-vis）表征 | 第34-36页 |
| ·原子力显微镜（AFM）表征 | 第36-38页 |
| ·扫描电镜（SEM）表征 | 第38-40页 |
| ·X 射线光电子能谱(XPS)表征 | 第40-43页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2纳米薄膜的光电性能 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 第三章 Zr_xTi_(1-x)O_2紫外探测器的制作与测试 | 第51-81页 |
| ·MSM 型光电探测器的工作原理与主要参数 | 第51-55页 |
| ·MSM 型 Zr_xTi_(1-x)O_2基紫外探测器的制作 | 第55-57页 |
| ·MSM 型 Zr_xTi_(1-x)O_2基紫外探测器光电性能的测试 | 第57-65页 |
| ·器件的 I-V 特性曲线 | 第57-60页 |
| ·器件在不同波长下的光响应 | 第60-63页 |
| ·器件的响应时间特性 | 第63-65页 |
| ·器件电流输运机制及内部增益的理论研究 | 第65-69页 |
| ·金属电极及器件结构对紫外探测器的性能影响 | 第69-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |
| 第四章 Zr_xTi_(1-x)O_2纳米线阵列基紫外探测器的研制 | 第81-105页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2纳米线阵列的制备 | 第81-83页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2纳米线阵列的表征 | 第83-86页 |
| ·XRD 射线表征 | 第83-84页 |
| ·SEM 扫描电镜表征 | 第84-85页 |
| ·XPS 射线分析表征 | 第85-86页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2纳米线阵列的生长机制研究 | 第86-95页 |
| ·生长基元模型 | 第87-91页 |
| ·过饱和竞争模型 | 第91-95页 |
| ·Zr_(0.05)Ti_(0.95)O_2纳米线阵列基紫外探测器的制作与测试 | 第95-97页 |
| ·肖特基结构紫外探测器的制作 | 第95-96页 |
| ·Zr_(0.05)Ti_(0.95)O_2纳米线阵列基紫外探测器的测试 | 第96-97页 |
| ·器件肖特基势垒高度及电流输运机制的理论研究 | 第97-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-105页 |
| 第五章 总结 | 第105-109页 |
| 作者简介及攻读博士学位论文期间发表的论文 | 第109-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 摘要 | 第112-115页 |
| Abstract | 第115-118页 |
