双级解耦微机械陀螺的结构设计及特性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-20页 |
| ·微机电系统(MEMS)的发展概况 | 第14-16页 |
| ·微机械陀螺的技术分类及发展概况 | 第16-17页 |
| ·微机械陀螺的设计问题及技术难点 | 第17-19页 |
| ·本文的主要内容 | 第19-20页 |
| 第二章 电容式微机械陀螺的工作原理和误差分析 | 第20-28页 |
| ·电容式微机械陀螺的工作原理 | 第20-26页 |
| ·科氏加速度原理及在陀螺中的应用 | 第20-22页 |
| ·非解耦式微机械陀螺原理 | 第22-24页 |
| ·单级解耦式微机械陀螺原理 | 第24-26页 |
| ·电容式微机械陀螺的误差分析 | 第26-27页 |
| ·机械耦合误差 | 第26-27页 |
| ·悬浮效应 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 双级解耦微机械陀螺的结构设计 | 第28-45页 |
| ·双级解耦结构的力学模型 | 第28-30页 |
| ·双级解耦微机械陀螺结构的初步设计 | 第30-42页 |
| ·驱动部分的结构设计 | 第32-35页 |
| ·敏感部分的结构设计 | 第35-39页 |
| ·检测部分的结构设计 | 第39-42页 |
| ·微机械陀螺结构尺寸的设计思路 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 双级解耦微机械陀螺的静力学分析 | 第45-57页 |
| ·微机械陀螺的模型前处理 | 第45-47页 |
| ·建立模型及定义材料常数 | 第45-46页 |
| ·有限元网格的划分 | 第46页 |
| ·边界约束条件的定义 | 第46-47页 |
| ·振子自由状态下的静力学分析 | 第47-49页 |
| ·自由状态下静力学分析的意义 | 第47页 |
| ·自由状态下载荷的施加 | 第47页 |
| ·静力计算结果 | 第47-49页 |
| ·振子在极限位移状态下的静力学分析 | 第49-52页 |
| ·极限位移状态下静力学分析的意义 | 第49-50页 |
| ·极限位移状态下载荷的施加 | 第50-51页 |
| ·静力计算结果 | 第51-52页 |
| ·微机械陀螺振子的疲劳分析 | 第52-56页 |
| ·疲劳的概念 | 第52-53页 |
| ·用ANSYS进行疲劳分析的方法 | 第53页 |
| ·微机械陀螺振子的疲劳分析过程 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 双级解耦微机械陀螺的模态匹配 | 第57-65页 |
| ·双级解耦微机械陀螺模态匹配的原理 | 第57页 |
| ·微机械陀螺振子关键变量的定义 | 第57-58页 |
| ·陀螺振子模态匹配的设计过程 | 第58-63页 |
| ·检测弹性梁的参数设计 | 第59-60页 |
| ·敏感-检测折叠梁的参数设计 | 第60-62页 |
| ·驱动折叠梁的参数设计 | 第62-63页 |
| ·陀螺振子模态匹配的评价 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 双级解耦微机械陀螺的瞬态动力学分析 | 第65-78页 |
| ·陀螺瞬态动力学分析概述 | 第65-66页 |
| ·陀螺瞬态动力学中的应力分析 | 第66-71页 |
| ·陀螺振子的总体应力变化分析 | 第66-69页 |
| ·振子结构的静力学校核 | 第69-70页 |
| ·折叠梁应力变化分析 | 第70-71页 |
| ·陀螺瞬态动力学中的谐波响应分析 | 第71-76页 |
| ·谐波响应分析的意义 | 第71-72页 |
| ·振子在正弦激励下的响应 | 第72-75页 |
| ·振子响应的速度及加速度分析 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第七章 总结与展望 | 第78-80页 |
| ·本文的主要工作小结 | 第78页 |
| ·进一步的研究工作展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 硕士期间发表论文 | 第86页 |
