| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-24页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·聚对二甲苯系列膜的特性 | 第9-12页 |
| ·透湿、透气性能 | 第9-10页 |
| ·耐溶剂性能 | 第10-11页 |
| ·力学性能 | 第11页 |
| ·热学性能 | 第11-12页 |
| ·聚对二甲苯系列膜的化学气相沉积聚合 | 第12-15页 |
| ·制备过程 | 第12-13页 |
| ·沉积聚合机制 | 第13-14页 |
| ·沉积聚合的动力学控制模型 | 第14-15页 |
| ·影响聚对二甲苯系列膜成膜质量的因素 | 第15-19页 |
| ·原料 | 第15-16页 |
| ·升华与裂解温度 | 第16-17页 |
| ·沉积压力 | 第17页 |
| ·基体温度 | 第17-19页 |
| ·基体温度对膜生长的影响 | 第17-18页 |
| ·基体温度对膜沉积速率的影响 | 第18页 |
| ·基体温度对膜结构与性能的影响 | 第18-19页 |
| ·聚对二甲苯系列膜的微观结构 | 第19-22页 |
| ·聚合物的结晶结构模型 | 第19-21页 |
| ·缨状微束模型 | 第19页 |
| ·折叠链模型 | 第19-20页 |
| ·松散折叠链模型 | 第20页 |
| ·隧道折叠模型 | 第20-21页 |
| ·聚对二甲苯系列膜沉积聚合中的结晶化 | 第21页 |
| ·聚对二甲苯系列膜的晶体结构 | 第21-22页 |
| ·聚对二甲苯系列膜的退火处理 | 第22-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 第二章 沉积参数对聚氯代对二甲苯膜结构与性能的影响 | 第24-44页 |
| ·实验及实验条件 | 第24-26页 |
| ·聚氯代对二甲苯膜的制备 | 第24页 |
| ·不同沉积压力下聚氯代对二甲苯膜的制备 | 第24页 |
| ·不同基体温度下聚氯代对二甲苯膜的制备 | 第24页 |
| ·结构表征与性能分析 | 第24-26页 |
| ·X射线衍射分析 | 第24-25页 |
| ·扫描电镜分析 | 第25页 |
| ·偏光显微镜分析 | 第25页 |
| ·拉伸性能测试 | 第25页 |
| ·热重、示差扫描量热分析 | 第25页 |
| ·透湿率测试 | 第25-26页 |
| ·沉积参数对聚氯代对二甲苯膜沉积速率的影响 | 第26-28页 |
| ·沉积压力对沉积速率的影响 | 第26-27页 |
| ·基体温度对沉积速率的影响 | 第27-28页 |
| ·沉积参数对聚氯代对二甲苯膜结晶形态的影响 | 第28-32页 |
| ·沉积压力对膜结晶形态的影响 | 第28-29页 |
| ·基体温度对膜结晶形态的影响 | 第29-32页 |
| ·沉积参数对聚氯代对二甲苯膜微观结构的影响 | 第32-36页 |
| ·沉积压力对膜微观结构的影响 | 第32-34页 |
| ·基体温度对膜微观结构的影响 | 第34-36页 |
| ·沉积参数对聚氯代对二甲苯膜拉伸强度的影响 | 第36-38页 |
| ·沉积压力对膜拉伸强度的影响 | 第36-37页 |
| ·基体温度对膜拉伸强度的影响 | 第37-38页 |
| ·沉积参数对聚氯代对二甲苯膜透湿性能的影响 | 第38-41页 |
| ·水汽在聚氯代对二甲苯膜内渗透机制 | 第38-39页 |
| ·沉积压力与基体温度对膜水汽渗透率的影响 | 第39-41页 |
| ·聚氯代对二甲苯膜热稳定性分析 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第三章 聚氯代对二甲苯膜的退火处理与热氧老化研究 | 第44-58页 |
| ·实验及实验条件 | 第44-45页 |
| ·氩气气氛中退火处理及热氧老化实验 | 第44-45页 |
| ·结构表征与性能分析 | 第45页 |
| ·退火处理对聚氯代对二甲苯膜结晶形态的影响 | 第45-48页 |
| ·退火温度对膜相对结晶度的影响 | 第45-47页 |
| ·退火时间对膜相对结晶度的影响 | 第47-48页 |
| ·退火前后聚氯代对二甲苯膜微观结构变化 | 第48-49页 |
| ·氧对聚氯代对二甲苯膜退火处理的影响 | 第49-52页 |
| ·退火处理及热氧老化对聚氯代对二甲苯膜拉伸强度的影响 | 第52-53页 |
| ·退火处理对聚氯代对二甲苯膜水汽渗透率的影响 | 第53-55页 |
| ·退火前后聚氯代对二甲苯膜的热稳定性及裂解产物分析 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第四章 结论 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 附录 | 第64页 |
