| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·气敏传感器传感机理 | 第9-12页 |
| ·微气敏传感器的结构、特点及性能指标 | 第12-13页 |
| ·微气敏传感器的研究现状 | 第13-17页 |
| ·传感器微结构 | 第13-15页 |
| ·气敏材料制备技术 | 第15-17页 |
| ·气体测试系统 | 第17页 |
| ·激光微熔覆技术 | 第17-18页 |
| ·本论文的研究内容及技术路线 | 第18-21页 |
| 2 SNO_2 微气敏传感器的制备 | 第21-37页 |
| ·实验设备及材料 | 第21-22页 |
| ·SNO_2 厚膜气敏浆料的制备 | 第22-25页 |
| ·浆料制备和掺杂 | 第23-25页 |
| ·SNO_2 厚膜微气敏传感器的制备 | 第25-31页 |
| ·背面加热单元的制备 | 第25-26页 |
| ·金电极膜的制备 | 第26-30页 |
| ·气敏膜的制备 | 第30-31页 |
| ·结果分析与讨论 | 第31-37页 |
| ·浆料电学特性以及热重-差热分析 | 第31-33页 |
| ·加热器性能测试 | 第33-37页 |
| 3 气敏膜二维尺度对气敏特性的影响 | 第37-44页 |
| ·气敏膜二维尺度对气敏特性影响 | 第37-41页 |
| ·串联气敏膜阵列特性测试 | 第37-39页 |
| ·并联气敏膜阵列特性测试 | 第39-41页 |
| ·气敏膜二维导电机理 | 第41-43页 |
| ·气敏膜导电基本机理 | 第41-42页 |
| ·激光直写气敏膜微观形貌 | 第42-43页 |
| ·结果分析与讨论 | 第43-44页 |
| 4 不同气体环境下SNO_2 微气敏传感器的传感特性研究 | 第44-58页 |
| ·测试系统及方法 | 第44-47页 |
| ·整个测试系统组建 | 第44-45页 |
| ·待测气体的体积换算 | 第45-46页 |
| ·测试条件 | 第46-47页 |
| ·乙醇蒸汽环境下SNO_2 传感器的传感特性 | 第47-51页 |
| ·加热功率对灵敏度的影响 | 第47-49页 |
| ·响应恢复特性 | 第49-51页 |
| ·CH_4 气体环境下SNO_2 传感器的传感特性 | 第51-54页 |
| ·加热功率对灵敏度的影响 | 第51-52页 |
| ·气体浓度与灵敏度的关系 | 第52-53页 |
| ·响应恢复特性 | 第53-54页 |
| ·CO 气体环境下SNO_2 传感器的传感特性 | 第54-56页 |
| ·加热功率对灵敏度的影响 | 第54-55页 |
| ·气体浓度与灵敏度的关系 | 第55-56页 |
| ·响应恢复特性 | 第56页 |
| ·结果分析与讨论 | 第56-58页 |
| 5 主要结论及建议 | 第58-60页 |
| ·主要结论 | 第58-59页 |
| ·今后工作的建议 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |