静电驱动硅基介观压阻式微陀螺仪设计与相关陀螺测试
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·微机械陀螺仪的研究背景与研究意义 | 第9-10页 |
| ·微机械陀螺的发展现状 | 第10-20页 |
| ·国外微机械陀螺发展现状 | 第10-16页 |
| ·国内微机械陀螺发展现状 | 第16-20页 |
| ·论文的组织框架安排 | 第20-22页 |
| 第二章 微机械陀螺理论分析基础 | 第22-33页 |
| ·微机械陀螺的基本原理 | 第22-26页 |
| ·哥氏效应原理 | 第22-24页 |
| ·微机械陀螺的动力学分析 | 第24-26页 |
| ·陀螺的驱动及检测原理 | 第26-32页 |
| ·介观压阻效应检测 | 第26-29页 |
| ·微机械陀螺的驱动原理 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 静电驱动介观压阻检测微机械陀螺的结构设计 | 第33-54页 |
| ·微机械陀螺的结构设计与工作原理 | 第33-34页 |
| ·微机械陀螺的机械性能分析 | 第34-38页 |
| ·理论分析 | 第34-37页 |
| ·回折型正交梁刚度仿真分析 | 第37-38页 |
| ·微机械陀螺的仿真分析 | 第38-45页 |
| ·模态分析 | 第38-41页 |
| ·静态分析 | 第41页 |
| ·路径分析 | 第41-43页 |
| ·谐响应分析 | 第43-45页 |
| ·微机械陀螺的阻尼分析 | 第45-52页 |
| ·驱动方向阻尼分析 | 第46-48页 |
| ·检测方向阻尼分析 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 微机械陀螺加工工艺研究 | 第54-67页 |
| ·关键工艺研究 | 第54-58页 |
| ·纳米膜隧穿器件工艺研究 | 第54-56页 |
| ·陀螺结构加工工艺研究 | 第56-58页 |
| ·具体的工艺流程 | 第58-60页 |
| ·版图设计 | 第60-66页 |
| ·版图设计规则 | 第60-61页 |
| ·静电驱动介观压阻式陀螺版图设计说明 | 第61-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 微机械陀螺的性能测试 | 第67-74页 |
| ·RTD 温度特性及负阻特性测试 | 第67页 |
| ·微机械陀螺性能实验 | 第67-73页 |
| ·微机械陀螺测试平台的搭建 | 第67-68页 |
| ·驱动频率测试 | 第68-69页 |
| ·检测方向静态加速度特性测试 | 第69-70页 |
| ·三轴转台测试 | 第70-73页 |
| ·本章小节 | 第73-74页 |
| 第六章 结论与展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-84页 |
| 攻读硕士期间主要研究工作及所取得的研究成果 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
