氨敏薄膜的制备及特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题的来源和意义 | 第10页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·气体传感器技术及发展现状 | 第11-18页 |
| ·气体传感器概述 | 第11-13页 |
| ·气体传感器的原理及分类 | 第13-14页 |
| ·气体传感器存在的问题与发展趋势 | 第14-17页 |
| ·氨气传感器的研究现状 | 第17-18页 |
| ·本课题的任务 | 第18-19页 |
| 第二章 器件结构选择与设计分析 | 第19-30页 |
| ·气体传感器的基本器件结构 | 第19-20页 |
| ·MOSFET的类型 | 第20-26页 |
| ·MOSFET基本结构及工作原理 | 第20-22页 |
| ·描述MOSFET性能的主要特性参数 | 第22-23页 |
| ·MOSFET气敏传感器的主要特性参数 | 第23-24页 |
| ·化学场效应管(ChemFET)的基本原理 | 第24-25页 |
| ·制备工艺及技术指标 | 第25-26页 |
| ·平面叉指电极的类型 | 第26-30页 |
| ·平面叉指电极基本结构及工作原理 | 第26页 |
| ·平面叉指电极传感器参数分析 | 第26-28页 |
| ·平面叉指电极及引线的制备 | 第28-30页 |
| 第三章 PEDT敏感膜的制备及特性测试 | 第30-39页 |
| ·PEDT薄膜的制备 | 第30-33页 |
| ·PEDT的特性及合成方法 | 第30-32页 |
| ·试剂与仪器 | 第32页 |
| ·PEDT薄膜制备 | 第32-33页 |
| ·PEDT薄膜表征 | 第33-34页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第33页 |
| ·PEDT膜的红外吸收光谱分析 | 第33-34页 |
| ·PEDT传感器特性测试与结果讨论 | 第34-38页 |
| ·器件结构及测试装置 | 第34-35页 |
| ·气敏特性测试 | 第35-36页 |
| ·温湿度特性 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 PPy敏感膜的制备及特性测试 | 第39-48页 |
| ·PPy薄膜的制备 | 第39-42页 |
| ·PPy的特性及合成方法 | 第39-40页 |
| ·试剂与仪器 | 第40-41页 |
| ·PPy薄膜的制备 | 第41-42页 |
| ·PPy薄膜表征 | 第42-43页 |
| ·PPy原子力显微镜分析 | 第42页 |
| ·PPy紫外-可见光谱分析 | 第42-43页 |
| ·PPy红外吸收光谱分析 | 第43页 |
| ·PPy传感器特性测试与结果讨论 | 第43-47页 |
| ·气敏特性测试 | 第43-46页 |
| ·温湿度特性 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 PPy-TiO_2敏感膜的制备及特性测试 | 第48-60页 |
| ·PPy-TiO_2薄膜的制备 | 第48-50页 |
| ·PPy-TiO_2的特性及合成方法 | 第48-49页 |
| ·试剂与仪器 | 第49页 |
| ·PPy-TiO_2复合薄膜的制备 | 第49-50页 |
| ·PPy-TiO_2复合膜表征 | 第50-54页 |
| ·PPy-TiO_2原子力显微镜分析 | 第50-52页 |
| ·PPy-TiO_2导电性能的研究 | 第52页 |
| ·PPy-TiO_2紫外-可见光谱分析 | 第52-53页 |
| ·PPy-TiO_2红外谱图分析 | 第53-54页 |
| ·PPy-TiO_2传感器特性测试与结果讨论 | 第54-59页 |
| ·气敏特性测试 | 第54-58页 |
| ·温湿度特性 | 第58-59页 |
| ·本章小节 | 第59-60页 |
| 第六章 结论与展望 | 第60-62页 |
| ·本文研究结论 | 第60-61页 |
| ·本论文工作展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第67页 |
