基于原子力显微镜的微/纳米加工研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-24页 |
| ·课题背景和意义 | 第20-22页 |
| ·本论文的内容安排与课题来源 | 第22-24页 |
| 论文章节安排 | 第22-23页 |
| 课题来源 | 第23-24页 |
| 第二章 微／纳加工技术介绍 | 第24-40页 |
| ·纳米科技 | 第24-29页 |
| ·纳米科技概述 | 第24-26页 |
| ·纳米科技的应用前景 | 第26-27页 |
| ·微／纳米加工技术 | 第27-29页 |
| ·SPM技术介绍 | 第29-34页 |
| ·STM的基本原理及发展 | 第29-31页 |
| ·AFM的基本原理 | 第31-32页 |
| ·扫描探针显微镜的优点及其局限 | 第32-34页 |
| ·扫描探针加工技术国内外的研究 | 第34-39页 |
| ·AFM阳极氧化纳米加工 | 第36-37页 |
| ·AFM的碳纳米管微操作研究 | 第37-39页 |
| 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 基于AFM的微／纳米加工系统与理论 | 第40-49页 |
| ·实验系统构架 | 第40-42页 |
| ·硬件组成 | 第40-41页 |
| ·软件和重要参数 | 第41-42页 |
| ·扫描器与探针 | 第42-45页 |
| ·扫描器 | 第42-43页 |
| ·AFM探测到的力及测力工具—悬臂探针 | 第43-45页 |
| ·振动和漂移对测量精度的影响研究 | 第45-46页 |
| ·基于AFM的微／纳米加工理论 | 第46-48页 |
| ·AFM电场诱导氧化的基本原理 | 第46-48页 |
| ·AFM操纵碳纳米管的方法 | 第48页 |
| 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 基于AFM的电场诱导氧化加工实验 | 第49-63页 |
| ·实验样品制备处理 | 第49-50页 |
| ·氧化加工实验 | 第50-57页 |
| ·点加工 | 第50-55页 |
| ·线加工 | 第55页 |
| ·复杂图形加工 | 第55-57页 |
| ·模型以及机理分析 | 第57-62页 |
| 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 AFM的碳纳米管微操作实验 | 第63-77页 |
| ·碳纳米管介绍 | 第63-65页 |
| ·碳纳米管结构 | 第63-64页 |
| ·碳纳米管制备方法 | 第64页 |
| ·碳纳米管的特性与应用 | 第64-65页 |
| ·样品的制备 | 第65-68页 |
| ·碳纳米管的分散 | 第65-66页 |
| ·基底的选择 | 第66-68页 |
| ·碳纳米管操纵实验 | 第68-73页 |
| ·碳纳米管的检测 | 第69-70页 |
| ·碳纳米管的操纵—推动、切割 | 第70-72页 |
| ·碳纳米管的操纵—弯曲 | 第72-73页 |
| ·碳纳米管操纵动态过程的微观力学分析 | 第73-75页 |
| ·碳纳米管操纵的力学模型 | 第73-74页 |
| ·基底表面形貌对微观摩擦的影响 | 第74-75页 |
| 本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第77-79页 |
| 工作总结 | 第77-78页 |
| 工作展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-86页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 作者简介 | 第88-89页 |
| 原创性声明 | 第89页 |
| 使用授权的声明 | 第89页 |
