| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·光衰减器的应用 | 第10-11页 |
| ·光衰减器的分类 | 第11-17页 |
| ·光衰减器的发展历程及国内外市场前景 | 第17-18页 |
| ·本课题研究的目的、意义和来源 | 第18-19页 |
| 2 MEMS 光衰减器 | 第19-32页 |
| ·微机电系统简介 | 第19-20页 |
| ·基于MEMS 技术的VOA | 第20-21页 |
| ·几种结构简单的微驱动型VOA | 第21-23页 |
| ·设计制作的MEMS VOA 的结构 | 第23-24页 |
| ·设计制作的MEMS VOA 的工作原理 | 第24-27页 |
| ·C-LENS 球透镜的分析与VOA 光路的设计 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 MEMS 可调光衰减器光学参数的分析 | 第32-52页 |
| ·两个单模光纤准直器耦合的一般分析 | 第32-37页 |
| ·插入损耗的分析 | 第37-38页 |
| ·设计制作的VOA 中的衰减量的计算与分析 | 第38-40页 |
| ·回波损耗的分析 | 第40-48页 |
| ·波长相关损耗的分析 | 第48-49页 |
| ·偏振相关损耗的分析 | 第49-51页 |
| ·温度相关损耗的分析 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 试验研究 | 第52-60页 |
| ·测试系统的设计 | 第52-53页 |
| ·光路调试 | 第53-54页 |
| ·光学参数的测试和研究 | 第54-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 全文总结 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第67-68页 |
| 附录2 VOA 插入损耗(C-LENS 准直器耦合损耗)计算过程 | 第68-69页 |
| 附录3 C-LENS 准直器RL 计算过程 | 第69-73页 |
| 附录4 VOA 的WDL 计算过程 | 第73-74页 |