| 第一章 引言 | 第1-19页 |
| ·薄膜型陶瓷传感器的研究及进展 | 第8-11页 |
| ·薄膜型陶瓷湿度传感器的研究 | 第9-11页 |
| ·铁氧化物湿敏传感材料的研究现状 | 第11-15页 |
| ·铁氧化物 | 第11-12页 |
| ·铁氧化物半导体的感湿机理 | 第12-13页 |
| ·铁氧化物湿敏材料的研究现状 | 第13-15页 |
| ·薄膜传感器衬底材料的选择 | 第15-18页 |
| ·衬底材料对薄膜传感器性能的影响 | 第15页 |
| ·新型衬底材料：多孔硅与硅纳米孔柱阵列(Si-NPA) | 第15-18页 |
| ·课题研究意义 | 第18-19页 |
| 第二章 铁氧化物／Si-NPA湿敏元件的制备 | 第19-35页 |
| ·微乳—水热法制备纳米铁氧化物 | 第19-26页 |
| ·纳米Fe_3O_4的制备 | 第20-21页 |
| ·X射线衍射与透射电镜技术表征纳米Fe_3O_4 | 第21-24页 |
| ·纳米γ—Fe_2O_3的制备 | 第24页 |
| ·纳米γ—Fe_2O_3的表征 | 第24-26页 |
| ·衬底材料Si-NPA的制备 | 第26-28页 |
| ·Si-NPA的制备技术 | 第26-27页 |
| ·Si-NPA表面形貌表征 | 第27-28页 |
| ·铁氧化物／Si-NPA复合薄膜湿敏元件的制备 | 第28-33页 |
| ·Fe_3O_4／Si-NPA湿敏元件的制备及其特征形貌介绍 | 第29-32页 |
| ·γ—Fe_2O_3／Si-NPA湿敏元件的制备及其特征形貌介绍 | 第32-33页 |
| ·小结 | 第33-35页 |
| 第三章 铁氧化物／Si-NPA元件的湿敏特性测试及分析 | 第35-52页 |
| ·湿敏测试实验设计 | 第35-37页 |
| ·实验技术路线设计 | 第35-36页 |
| ·湿度标定系统的设计 | 第36页 |
| ·湿度信号的检测 | 第36-37页 |
| ·Si-NPA湿敏元件感湿特性的测试及分析 | 第37-40页 |
| ·Si-NPA湿敏元件的灵敏度测试 | 第37-39页 |
| ·Si-NPA湿敏元件的响应时间测试 | 第39-40页 |
| ·Fe_3O_4／Si-NPA复合体系感湿特性的测试及分析 | 第40-47页 |
| ·Fe_3O_4／Si-NPA湿敏元件的灵敏度测试 | 第40-42页 |
| ·Fe_3O_4／Si-NPA湿敏元件的响应时间测试 | 第42-43页 |
| ·Fe_3O_4／Si-NPA湿敏元件的频率响应测试 | 第43-45页 |
| ·Fe_3O_4／Si-NPA湿敏元件的稳定性测试 | 第45-46页 |
| ·Fe_3O_4／Si-NPA湿敏元件的优越湿敏性能分析 | 第46-47页 |
| ·γ—Fe_2O_3／Si-NPA复合体系感湿特性的测试及分析 | 第47-50页 |
| ·γ—Fe_2O_3／Si-NPA湿敏元件的灵敏度测试 | 第47-48页 |
| ·γ—Fe_2O_3／Si-NPA湿敏元件的湿敏性能分析 | 第48-49页 |
| ·碱金属Li的掺杂对γ—Fe_2O_3／Si-NPA复合体系湿敏性能的影响 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-52页 |
| 第四章 结论 | 第52-54页 |
| 中外文参考文献 | 第54-62页 |
| 附录 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 个人简介: | 第64页 |
