三靶磁溅式真空镀膜机电气控制系统的研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1．1 真空镀膜机的发展趋势 | 第9页 |
| 1．2 真空镀膜机概述 | 第9-11页 |
| 1．2．1 真空镀膜的应用 | 第10页 |
| 1．2．2 真空镀膜原理 | 第10-11页 |
| 1．2．3 真空镀膜的结构 | 第11页 |
| 1．3 主要研究内容与创新之处 | 第11-13页 |
| 1．3．1 PLC电气控制系统 | 第11-12页 |
| 1．3．2 分子泵的VVVF自适应调速 | 第12页 |
| 1．3．3 靶电源的模糊PID控制 | 第12-13页 |
| 1．3．4 基于软件模式的电机软起动 | 第13页 |
| 1．4 小结 | 第13-14页 |
| 第2章 镀膜机电气控制系统整体方案的设计 | 第14-23页 |
| 2．1 真空镀膜机电气控制系统的分析 | 第14-20页 |
| 2．1．1 真空镀膜机电气控制系统的技术要求 | 第14页 |
| 2．1．2 SCS-850Z型真空镀膜机结构分析 | 第14-16页 |
| 2．1．3 真空镀膜机工艺流程的分析 | 第16-19页 |
| 2．1．4 输入输出对象的分析 | 第19-20页 |
| 2．2 真空镀膜机电气控制系统整体方案的设计 | 第20-22页 |
| 2．2．1 控制系统整体方案 | 第20-21页 |
| 2．2．2 控制系统整体方案论证 | 第21-22页 |
| 2．3 小结 | 第22-23页 |
| 第3章 PLC控制单元与检测单元设计 | 第23-38页 |
| 3．1 PLC控制单元的设计方案与论证 | 第23-26页 |
| 3．1．1 PLC控制单元的技术要求 | 第23页 |
| 3．1．2 PLC型号选择方案与论证 | 第23-24页 |
| 3．1．3 PLC主机选择方案与论证 | 第24-25页 |
| 3．1．4 模拟量输入生产模块选择方案与论证 | 第25页 |
| 3．1．5 控制单元的设计方案 | 第25-26页 |
| 3．2 PLC的接口电路设计 | 第26-28页 |
| 3．3 PLC编程设计 | 第28-31页 |
| 3．3．1 地址分配表 | 第28-29页 |
| 3．3．2 PLC数据处理 | 第29-30页 |
| 3．3．3 PLC程序设计 | 第30-31页 |
| 3．4 PLC程序调试 | 第31-32页 |
| 3．5 检测单元与触摸屏的设计 | 第32-37页 |
| 3．5．1 检测单元与触摸屏的技术要求 | 第32页 |
| 3．5．2 气体流量检测装置 | 第32-33页 |
| 3．5．3 冷却水水温检测装置 | 第33-34页 |
| 3．5．4 真空测量装置 | 第34页 |
| 3．5．5 触摸屏的设计 | 第34-37页 |
| 3．6 小结 | 第37-38页 |
| 第4章 靶电源设计 | 第38-50页 |
| 4．1 靶电源整体方案的设计与论证 | 第38-39页 |
| 4．1．1 靶电源技术参数与要求 | 第38页 |
| 4．1．2 靶电源整体设计方案 | 第38-39页 |
| 4．1．3 靶电源方案论证 | 第39页 |
| 4．2 靶电源电路设计 | 第39-44页 |
| 4．2．1 靶电源主电路设计 | 第39-42页 |
| 4．2．2 电流反馈与脉冲触发电路设计 | 第42-43页 |
| 4．2．3 靶电源电路设计 | 第43-44页 |
| 4．3 靶电源模糊控制的研究 | 第44-49页 |
| 4．3．1 模糊控制的基本思想 | 第44-45页 |
| 4．3．2 靶电源模糊控制的软件程序设计 | 第45-49页 |
| 4．4 小结 | 第49-50页 |
| 第5章 真空旋转单元设计 | 第50-56页 |
| 5．1 真空旋转单元的调速方案 | 第50-51页 |
| 5．1．1 真空旋转单元的技术要求 | 第50页 |
| 5．1．2 直流调速与交流调速的比较 | 第50页 |
| 5．1．3 直流电机调速方案与论证 | 第50-51页 |
| 5．2 直流调速电路设计 | 第51-53页 |
| 5．2．1 直流电机的参数 | 第51-52页 |
| 5．2．2 直流调速电路设计 | 第52-53页 |
| 5．3 直流电机软起动设计 | 第53-55页 |
| 5．3．1 PLC控制量的计算 | 第53-55页 |
| 5．3．2 直流电机软起动程序设计 | 第55页 |
| 5．4 小结 | 第55-56页 |
| 第6章 交流调速自适应控制的设计 | 第56-67页 |
| 6．1 交流调速方案与论证 | 第56-57页 |
| 6．1．1 交流调速技术参数与要求 | 第56页 |
| 6．1．2 交流调速方案 | 第56-57页 |
| 6．1．3 交流调速方案论证 | 第57页 |
| 6．2 分子泵变频调速电路设计 | 第57-64页 |
| 6．2．1 变频调速电路整体方案与论证 | 第57-58页 |
| 6．2．2 分子泵变频调速电路的设计 | 第58-64页 |
| 6．3 分子泵调速自适应控制的研究 | 第64-66页 |
| 6．3．1 自适应控制简介 | 第64页 |
| 6．3．2 分子泵调速自适应控制的PLC程序设计 | 第64-66页 |
| 6．4 小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 附录A(攻读学位期间所发表的学术论文目录) | 第73-74页 |
| 附录B(证明材料) | 第74页 |
