| 第一章 概述 | 第1-12页 |
| 1-1 四探针测试技术概述 | 第7-10页 |
| 1-1-1 四探针技术的应用 | 第7-8页 |
| 1-1-2 四探针法的分类 | 第8-10页 |
| 1-1-3 四探针技术的研究现状 | 第10页 |
| 1-2 图象处理技术简介 | 第10-11页 |
| 1-3 本论文的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 方形四探针测试理论研究 | 第12-22页 |
| 2-1 直线四探针法测试原理 | 第12-16页 |
| 2-1-1 直线四探针法的基本原理 | 第12-13页 |
| 2-1-2 直线四探针法的测准条件分析 | 第13-14页 |
| 2-1-3 直线四探针技术的边缘和厚度修正 | 第14-15页 |
| 2-1-4 直线四探针法的测量区域的局限 | 第15-16页 |
| 2-2 斜置式方形探针测量技术研究 | 第16-21页 |
| 2-2-1 测试原理 | 第16-17页 |
| 2-2-2 游移对测试结果的影响 | 第17-20页 |
| 2-2-3 方形探针Rymaszewski测量方法的样品厚度修正 | 第20-21页 |
| 2-3 小结 | 第21-22页 |
| 第三章 斜置式方形分析探针仪 | 第22-39页 |
| 3-1 探针分析仪的测试流程 | 第22-23页 |
| 3-2 测试平台及其机械传动系统 | 第23-24页 |
| 3-3 电阻率测试系统 | 第24-33页 |
| 3-3-1 测试的硬件电路设计 | 第24-31页 |
| 3-3-2 测试电路的软件设计 | 第31-33页 |
| 3-4 计算机可视化测试台 | 第33-39页 |
| 3-4-1 主控平台 | 第34-35页 |
| 3-4-2 测试平台 | 第35-39页 |
| 第四章 图像识别及探针定位的实现 | 第39-51页 |
| 4-1 图像的数字化 | 第39-40页 |
| 4-1-1 图像数字化器的组成 | 第39-40页 |
| 4-1-2 图像数字化器的性能 | 第40页 |
| 4-2 探针图像的预处理 | 第40-43页 |
| 4-2-1 图像增强理论 | 第41-43页 |
| 4-3 探针图像的阈值选择 | 第43-47页 |
| 4-3-1 灰度直方图 | 第43-45页 |
| 4-3-2 边界阈值的选择 | 第45-47页 |
| 4-4 探针图像的识别与定位 | 第47-49页 |
| 4-4-1 中心探测确定探针位置 | 第47-48页 |
| 4-4-2 驱动步进电机调整探针的测试结构 | 第48-49页 |
| 4-5 探针识别系统产生误差的因素 | 第49-50页 |
| 4-6 小结 | 第50-51页 |
| 第五章 试验结果及结论 | 第51-53页 |
| 5-1 试验结果 | 第51-52页 |
| 5-2 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第56页 |