| 第一章 引言 | 第1-15页 |
| ·氟化非晶碳薄膜的研究背景与现状 | 第9-12页 |
| ·碳氟等离子体的研究现状 | 第12-14页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 微波电子回旋共振碳氟等离子体的常用诊断方法 | 第15-25页 |
| ·微波电子回旋共振等离子体的产生机理 | 第15页 |
| ·低温碳氟等离子体常用的诊断方法 | 第15-23页 |
| ·实验装置及实验安排 | 第23-25页 |
| 第三章 CHF_3气体ECR放电等离子体的静电探针研究 | 第25-29页 |
| ·典型的静电探针伏安特性曲线 | 第25-26页 |
| ·电子温度和离子密度随微波输入功率的变化关系 | 第26页 |
| ·电子温度随放电气压的变化关系 | 第26-27页 |
| ·不同测量位置的电子温度 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 CHF_3、CF_4气体ECR等离子体的发射光谱研究 | 第29-41页 |
| ·发射光谱图常用基团本征谱线的识别 | 第29-32页 |
| ·CHF_3气体ECR放电等离子体中的基团分布规律 | 第32-38页 |
| ·CF_4气体ECR等离子体中的基团分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 CHF_3／C_6H_6等离子体中基团分布与a-C:F薄膜键结构的关联 | 第41-48页 |
| ·CHF_3／C_6H_6混合气体放电等离子体的发射光谱图 | 第41-42页 |
| ·流量比CHF_3／C_6H_6对放电等离子体中基团分布的影响 | 第42-43页 |
| ·a-C:F薄膜的沉积速率随流量比的变化 | 第43-45页 |
| ·流量比对a-C:F薄膜键结构的影响 | 第45-46页 |
| ·C-F键成分的相对含量随流量比的变化关系 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第六章 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 附录: 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
