| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| ·硅片切割的意义 | 第11-13页 |
| ·硅片切割的常用方法 | 第13-15页 |
| ·国内外研究情况 | 第15-17页 |
| ·硅片切割研究进展 | 第17-21页 |
| ·多丝切割技术 | 第17-19页 |
| ·多丝切割的关键 | 第19-21页 |
| ·论文的研究意义和课题来源 | 第21-22页 |
| ·论文主要研究内容及结构安排 | 第22-24页 |
| 参考文献 | 第24-27页 |
| 第二章 多丝切割加工机理研究 | 第27-48页 |
| ·硅材料的特性 | 第27-28页 |
| ·研磨粒的运动状态 | 第28-33页 |
| ·非接触状态 | 第30-31页 |
| ·半接触状态 | 第31-32页 |
| ·全接触状态 | 第32-33页 |
| ·"滚-刻"模型 | 第33-37页 |
| ·实验结果分析 | 第33-34页 |
| ·单个磨粒的"缺刻"加工机理 | 第34-36页 |
| ·"滚--刻"模型的加工效率分析 | 第36-37页 |
| ·"滚-刻-削"混合模型 | 第37-45页 |
| ·多丝切割中的"磨-削"加工 | 第37-40页 |
| ·多丝切割中的"滚-刻-削"混合模型 | 第40-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 第三章 研磨液运动学研究 | 第48-57页 |
| ·研磨液的流体建模 | 第49-51页 |
| ·研磨液的运动 | 第51-55页 |
| ·切割丝端面研磨液的运动仿真 | 第51-52页 |
| ·不同速度下研磨液的运动仿真(假设区域膜厚及形状不变) | 第52-53页 |
| ·不同膜厚下研磨液的运动仿真(假设流体介质参数不变) | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55页 |
| 附录 | 第55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第四章 切割丝运动学研究 | 第57-70页 |
| ·切割丝直径对加工和设备的影响 | 第58-60页 |
| ·多丝切割线锯的发展方向 | 第58页 |
| ·细丝线锯的设计分析 | 第58-60页 |
| ·丝振对加工质量的影响 | 第60-62页 |
| ·初始切入时的研究 | 第60-61页 |
| ·稳定切割时的研究 | 第61-62页 |
| ·丝振模型建模分析 | 第62-64页 |
| ·实验与仿真研究 | 第64-67页 |
| ·固有频率 | 第64-66页 |
| ·张力、速度与振幅 | 第66-67页 |
| ·本章小节 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 第五章 张力控制研究 | 第70-100页 |
| ·功能需求和系统构建 | 第70-72页 |
| ·系统建模与控制设计 | 第72-78页 |
| ·上述设计方案的建模 | 第72-75页 |
| ·张力控制方案的设计 | 第75-78页 |
| ·走丝系统控制的实现 | 第78-84页 |
| ·走丝系统中电机的控制策略 | 第78-79页 |
| ·张力控制电机的变形PI—D控制 | 第79-80页 |
| ·收/放丝辊电机的模糊PID控制 | 第80-84页 |
| ·系统的仿真分析 | 第84-87页 |
| ·张力控制系统仿真 | 第84-86页 |
| ·丝辊电机模糊PID控制器仿真 | 第86-87页 |
| ·《NWS6X2型钢丝多丝切割机》 | 第87-94页 |
| ·走丝系统的关注点 | 第87-88页 |
| ·控制对策 | 第88-89页 |
| ·张力调节系统的改进设计 | 第89-94页 |
| ·本章小结 | 第94-97页 |
| 参考文献 | 第97-100页 |
| 第六章 加工工艺参数的控制 | 第100-107页 |
| ·工艺参数控制方法 | 第100-101页 |
| ·BP建模的工艺样本选取 | 第101-102页 |
| ·BP网络设计 | 第102-103页 |
| ·工艺建模结果 | 第103-105页 |
| ·本章小节 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-107页 |
| 第七章 总结与展望 | 第107-112页 |
| ·回顾与总结 | 第107-109页 |
| ·研究的创新 | 第109-110页 |
| ·展望 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-112页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文和教学科研工作 | 第112-113页 |
| 学术论文 | 第112页 |
| 教学和科研工作 | 第112-113页 |
| 致谢 | 第113页 |