锆钛酸铅薄膜的制备及性能测试研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-10页 |
| ·锆钛酸铅薄膜的研究现状 | 第10-18页 |
| ·锆钛酸铅材料概述 | 第10-11页 |
| ·锆钛酸铅薄膜的制备技术 | 第11-15页 |
| ·锆钛酸铅薄膜的应用 | 第15-18页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 制备检测方法及原理 | 第20-32页 |
| ·锆钛酸铅薄膜材料特性 | 第20-23页 |
| ·热释电效应 | 第20-21页 |
| ·钙钛矿结构 | 第21-23页 |
| ·形貌分析 | 第23-26页 |
| ·扫描电镜（SEM） | 第23-24页 |
| ·微系统测试分析仪（MSA） | 第24-26页 |
| ·物理性能分析 | 第26-29页 |
| ·拉曼光谱测试系统 | 第26-28页 |
| ·X 射线衍射测试系统 | 第28-29页 |
| ·能谱分析 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 锆钛酸铅薄膜工艺与制备 | 第32-50页 |
| ·微结构设计 | 第32-37页 |
| ·基片的选择 | 第32-34页 |
| ·薄膜结构的设计 | 第34-37页 |
| ·实验中的前躯体溶液 | 第37-39页 |
| ·工艺流程 | 第39-44页 |
| ·锆钛酸铅干凝胶的制备 | 第42-43页 |
| ·基片的清洗 | 第43-44页 |
| ·前驱体溶液的配置方法及浓度计算 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-50页 |
| ·PZT 涂膜工艺试验 | 第46-47页 |
| ·组分的确定 | 第47-48页 |
| ·烧结温度的确定 | 第48-50页 |
| 第四章 性能测试及结果分析 | 第50-64页 |
| ·基底材料实验研究 | 第50-51页 |
| ·不同浓度PZT 溶液试验 | 第51-53页 |
| ·形貌测试 | 第53-54页 |
| ·不同厚度的PZT 薄膜测试 | 第54-57页 |
| ·陶瓷基底上薄膜性能测试 | 第54-56页 |
| ·硅片基底上薄膜性能测试 | 第56-57页 |
| ·膜结构对薄膜性能的影响 | 第57-63页 |
| ·XRD 测试分析 | 第58-59页 |
| ·RAMAN 测试分析 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结 | 第64-65页 |
| 1.研究工作总结 | 第64页 |
| 2. 工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
