| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-18页 |
| ·GaAs基MEMS器件的研究状况 | 第10-12页 |
| ·基于量子效应的M/NEMS器件研究现状 | 第12-13页 |
| ·水声传感器的研究现状和趋势 | 第13-18页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 介观压阻效应与GaAs基共振隧穿结构的压阻系数 | 第20-36页 |
| ·介观压阻效应 | 第20-29页 |
| ·微分负阻现象 | 第21-22页 |
| ·介观压阻效应 | 第22-25页 |
| ·共振隧穿结构设计 | 第25-29页 |
| ·GaAs基RTS的压阻系数 | 第29-35页 |
| ·探针静态加压测试 | 第29-31页 |
| ·四梁-质量块结构振动台测试 | 第31-32页 |
| ·影响共振隧穿结构特性的因素 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 共振隧穿结构关键工艺与MEMS体加工工艺设计 | 第36-57页 |
| ·共振隧穿结构关键加工工艺与成套工艺设计 | 第36-41页 |
| ·关键工艺 | 第36-40页 |
| ·成套工艺设计 | 第40-41页 |
| ·GaAs基MEMS体加工工艺 | 第41-53页 |
| ·控制孔工艺 | 第42-43页 |
| ·GaAs/AlAs的选择性刻蚀工艺 | 第43-53页 |
| ·GaAs基水声传感器体加工工艺设计 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 水声传感器结构设计与工艺加工 | 第57-69页 |
| ·水声传感器结构设计 | 第57-63页 |
| ·声学探测原理 | 第57-60页 |
| ·力学原理 | 第60页 |
| ·仿真分析 | 第60-63页 |
| ·工艺设计与加工 | 第63-68页 |
| ·版图设计 | 第63-67页 |
| ·工艺加工 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 水声传感器封装与测试 | 第69-77页 |
| ·水声传感器封装 | 第69-70页 |
| ·水声传感器振动台测试 | 第70-73页 |
| ·水声传感器水下测试 | 第73-76页 |
| ·声压灵敏度测试 | 第74-75页 |
| ·指向性测试 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 总结与展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 攻读硕士期间主要研究工作及所取得的研究成果 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86页 |