单芯片CMOS三维微型霍尔磁传感器研究
| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第24-48页 |
| 1.1 磁传感器 | 第24-27页 |
| 1.1.1 磁阻传感器 | 第25-26页 |
| 1.1.2 霍尔传感器 | 第26-27页 |
| 1.2 霍尔传感器的发展历程以及研究现状 | 第27-35页 |
| 1.2.1 水平霍尔传感器 | 第27-30页 |
| 1.2.2 垂直霍尔传感器 | 第30-32页 |
| 1.2.3 3D霍尔传感器 | 第32-35页 |
| 1.3 CMOS 3D霍尔传感器的研究方法 | 第35-38页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第38-39页 |
| 1.5 课题来源 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-48页 |
| 第2章 水平霍尔器件的研究 | 第48-90页 |
| 2.1 霍尔效应 | 第48-50页 |
| 2.2 水平霍尔器件 | 第50-71页 |
| 2.2.1 多种改进结构对比 | 第51-65页 |
| 2.2.2 器件性能优化 | 第65-70页 |
| 2.2.3 性能对比分析 | 第70-71页 |
| 2.3 水平霍尔器件电路模型设计 | 第71-80页 |
| 2.3.1 8电阻网络 | 第73-76页 |
| 2.3.2 JFET建模 | 第76-77页 |
| 2.3.3 反偏二极管建模 | 第77-78页 |
| 2.3.4 电压源建模 | 第78页 |
| 2.3.5 模型验证 | 第78-80页 |
| 2.4 水平霍尔器件调理电路设计 | 第80-82页 |
| 2.5 本章小结 | 第82-85页 |
| 参考文献 | 第85-90页 |
| 第3章 垂直霍尔器件的研究 | 第90-116页 |
| 3.1 垂直霍尔器件 | 第90-105页 |
| 3.1.1 器件设计 | 第91-99页 |
| 3.1.2 性能优化 | 第99-105页 |
| 3.1.3 性能对比分析 | 第105页 |
| 3.2 垂直霍尔器件电路模型设计 | 第105-107页 |
| 3.3 垂直霍尔器件调理电路设计 | 第107-110页 |
| 3.4 本章小结 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-116页 |
| 第4章 3D霍尔器件的研究 | 第116-138页 |
| 4.1 平面霍尔效应 | 第116-117页 |
| 4.2 多器件方案 | 第117-118页 |
| 4.3 单器件方案 | 第118-131页 |
| 4.3.1 单器件3D霍尔器件设计 | 第119-128页 |
| 4.3.2 十字形3D霍尔器件优化 | 第128-130页 |
| 4.3.3 性能分析对比 | 第130-131页 |
| 4.4 单器件电路模型设计 | 第131-132页 |
| 4.5 单器件调理电路设计 | 第132-134页 |
| 4.6 本章小结 | 第134-136页 |
| 参考文献 | 第136-138页 |
| 第5章 总结与展望 | 第138-142页 |
| 5.1 总结 | 第138-140页 |
| 5.2 展望 | 第140-142页 |
| 致谢 | 第142-143页 |
| 博士期间科研成果 | 第143-147页 |
