首页--工业技术论文--化学工业论文--非金属元素及其无机化合物化学工业论文--第Ⅳ族非金属元素及其无机化合物论文--硅及其无机化合物论文

PECVD制备多层氮化硅减反膜的工艺研究

摘要第1-6页
abstract第6-11页
第一章 绪论第11-29页
   ·太阳能光伏产业的前景及发展现状第11-15页
   ·太阳电池的分类第15-17页
     ·晶体硅太阳电池第15-16页
     ·薄膜太阳电池第16-17页
     ·光化学太阳电池第17页
   ·硅材料的制备工艺介绍第17-19页
     ·多晶硅锭的制备第17-18页
     ·单晶硅锭的制备第18-19页
   ·晶硅太阳电池的制备工艺介绍第19-24页
     ·硅片检测第20页
     ·清洗制绒第20-21页
     ·扩散制结第21页
     ·等离子刻蚀第21-22页
     ·去磷硅玻璃第22页
     ·沉积钝化减反膜第22-23页
     ·丝网印刷第23-24页
     ·快速烧结第24页
     ·测试分选第24页
   ·氮化硅减反膜在晶硅太阳电池中的应用第24-28页
     ·氮化硅薄膜的发展第24-26页
     ·与其他减反膜的比较第26页
     ·光伏行业中常见的氮化硅减反膜制备方法第26-28页
   ·本文研究的主要内容第28-29页
第二章 理论分析第29-36页
   ·太阳电池原理第29-31页
     ·半导体的特点第29页
     ·本征半导体第29-30页
     ·掺杂半导体第30页
     ·PN结的形成与特性第30-31页
   ·晶硅太阳电池原理第31-32页
   ·晶硅太阳电池的减反射与氢钝化第32-34页
     ·晶硅太阳电池的减反射第32-34页
     ·晶硅太阳电池的氢钝化第34页
   ·影响太阳电池光电转化效率的因素第34-36页
第三章 单双层氮化硅钝化减反膜的比对研究第36-43页
   ·主要设备和仪器第36-37页
   ·主要原材料及规格第37页
   ·单层氮化硅减反膜和双层氮化硅减反膜的的制备第37-39页
     ·氮化硅减反膜的制备第38页
     ·氮化硅减反膜的表征第38-39页
   ·结果与讨论第39-42页
     ·双层氮化硅减反膜对多晶硅少子寿命的影响第39-40页
     ·双层氮化硅减反膜对多晶硅反射率的影响第40-41页
     ·双层氮化硅镀膜对多晶硅太阳能电池电性能的影响第41-42页
   ·本章小结第42-43页
第四章 工艺参数对双层氮化硅减反膜性能的影响研究第43-51页
   ·主要设备和仪器第43-44页
   ·主要原材料及规格第44页
   ·双层氮化硅减反膜的制备与表征第44-45页
     ·双层氮化硅减反膜的制备第45页
     ·双层氮化硅减反膜的表征第45页
   ·结果与讨论第45-50页
     ·温度对双层氮化硅减反膜性能的影响第45-46页
     ·射频频率对双层氮化硅减反膜性能的影响第46-47页
     ·射频功率对双层氮化硅性能的影响第47-48页
     ·腔室压力对氮化硅减反膜性能的影响第48-49页
     ·优化前后对太阳电池电性能对比分析第49-50页
   ·本章小结第50-51页
第五章 彩色高效太阳电池的探索性研究第51-57页
   ·彩色高效太阳电池的发展现状与意义第51-52页
   ·彩色高效太阳电池的制备方法第52-54页
     ·磁控溅射第53-54页
     ·电子束蒸发镀膜第54页
   ·PECVD与电子束蒸发镀膜结合制备彩色高效太阳电池第54-55页
   ·本章小结第55-57页
第六章 结论与展望第57-59页
参考文献第59-63页
致谢第63-64页
附录A (攻读学位期间发表的论文)第64-65页
附录B第65-66页
附件第66-76页

论文共76页,点击 下载论文
上一篇:钛合金表面热障涂层的制备及其性能研究
下一篇:半导体热电材料Bi-Sb合金薄膜的电化学制备