| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·ZnO的结构和性能 | 第15-17页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第15-16页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第16-17页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第17-18页 |
| ·在太阳能电池中的应用 | 第17-18页 |
| ·在平板显示器上的应用 | 第18页 |
| ·在电磁屏蔽方面的应用 | 第18页 |
| ·在热镜方面的应用 | 第18页 |
| ·在气敏传感器方面的应用 | 第18页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第18-24页 |
| ·金属有机物化学气相沉积(MOCVD) | 第18-19页 |
| ·脉冲激光沉积工艺(PLD) | 第19-21页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第21-22页 |
| ·磁控溅射(MS) | 第22页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-gel) | 第22-23页 |
| ·喷雾热分解 | 第23-24页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的研究现状 | 第24-27页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的国内研究现状 | 第24-26页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的国外研究现状 | 第26-27页 |
| ·立题思路 | 第27-28页 |
| 第二章 超声喷雾热分解实验的设计及薄膜的表征 | 第28-38页 |
| ·超声喷雾热分解技术简介 | 第28-29页 |
| ·超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜的机理 | 第29-30页 |
| ·超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜的反应机理 | 第29-30页 |
| ·ZnO薄膜的成膜过程 | 第30页 |
| ·超声喷雾热分解系统的设计 | 第30-31页 |
| ·样品的制备过程 | 第31-32页 |
| ·实验原料 | 第31页 |
| ·前驱体溶液的配制 | 第31-32页 |
| ·衬底的清洗 | 第32页 |
| ·实验样品的制备 | 第32页 |
| ·薄膜的表征 | 第32-38页 |
| ·薄膜结构和表面形貌分析 | 第32-33页 |
| ·薄膜成分测试 | 第33-34页 |
| ·薄膜光学性能测试 | 第34-35页 |
| ·薄膜电学性能测试 | 第35-38页 |
| 第三章 超声喷雾热分解制备ZnO薄膜的工艺优化 | 第38-45页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜性能的影响 | 第38-41页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜晶体结构的影响 | 第38-39页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第40-41页 |
| ·衬底与喷嘴距离对ZnO薄膜性能的影响 | 第41-42页 |
| ·衬底与喷嘴距离对ZnO薄膜晶体结构的影响 | 第41-42页 |
| ·衬底与喷嘴距离对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第42页 |
| ·生长时间对ZnO薄膜性能的影响 | 第42-44页 |
| ·生长时间对ZnO薄膜晶体结构的影响 | 第42-43页 |
| ·生长时间对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第四章 超声喷雾热分解制备ZnO:In薄膜的性能表征 | 第45-57页 |
| ·衬底温度对ZnO:In薄膜性能的影响 | 第45-53页 |
| ·衬底温度对ZnO:In薄膜晶体结构的影响 | 第45-46页 |
| ·衬底温度对ZnO:In薄膜表面形貌的影响 | 第46-47页 |
| ·ZnO:In薄膜的成分分析 | 第47-50页 |
| ·X射线色散能谱分析(EDX) | 第47-48页 |
| ·X射线光电子能谱分析(XPS) | 第48-50页 |
| ·衬底温度对ZnO:In薄膜沉积速率的影响 | 第50-51页 |
| ·衬底温度对ZnO:In薄膜光学性能的影响 | 第51-52页 |
| ·衬底温度对ZnO:In薄膜电学性能的影响 | 第52-53页 |
| ·衬底材料对ZnO:In薄膜性能的影响 | 第53-55页 |
| ·衬底材料对晶体结构的影响 | 第53-54页 |
| ·衬底材料对表面形貌的影响 | 第54-55页 |
| ·衬底材料对电学性能的影响 | 第55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第五章 磁控溅射制备ZnO:In薄膜的性能表征 | 第57-63页 |
| ·磁控溅射原理及ZnO:In薄膜的制备 | 第57-59页 |
| ·磁控溅射的基本原理 | 第57-58页 |
| ·实验设备主要技术参数 | 第58页 |
| ·ZnO:In薄膜的制备 | 第58-59页 |
| ·磁控溅射制备ZnO:In薄膜的表征 | 第59-62页 |
| ·溅射功率对ZnO:In薄膜晶体结构的影响 | 第59-60页 |
| ·溅射功率对ZnO:In薄膜生长速率的影响 | 第60页 |
| ·溅射功率对ZnO:In薄膜光学性能的影响 | 第60-61页 |
| ·溅射功率对ZnO:In薄膜电学性能的影响 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 第六章 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 作者及导师简介 | 第71页 |