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氧化铟锡薄膜制备工艺及薄膜性能研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-13页
第一章 绪论第13-25页
   ·透明导电薄膜研究概述第13-16页
     ·ITO透明导电薄膜的结构第14页
     ·ITO薄膜的光学性能与机理第14-15页
     ·ITO薄膜的电学性能与导电机理第15-16页
   ·ITO透明导电薄膜的制备方法第16-20页
     ·物理气相沉积法第16-17页
     ·化学气相沉积法第17-18页
     ·水热法第18页
     ·溶胶-凝胶法第18-20页
   ·ITO薄膜在平板液晶显示器中的应用第20-23页
     ·液晶显示的发展历程第20-22页
     ·ITO透明导电薄膜在TFT-LCD手机显示屏中的应用第22页
     ·ITO透明导电薄膜在OLED中的应用第22-23页
   ·存在的问题和发展趋势第23页
   ·论文选题的立论、目的和意义第23-24页
   ·本课题的主要研究内容第24-25页
第二章 实验方案及测试方法第25-33页
   ·实验方案第25-26页
   ·实验原料第26-27页
   ·实验仪器第27-28页
   ·测试表征方法第28-33页
     ·四探针法测量薄膜的方电阻第28-29页
     ·透射电镜表征浆料的分散性能第29页
     ·扫描电镜表征薄膜的微观形貌第29-30页
     ·纳米划痕法评价薄膜与基材的附着性能第30-31页
     ·分光光度计仪器测量样品的透过率第31页
     ·X射线衍射仪表征薄膜的晶体结构第31-33页
第三章 实验结果分析第33-51页
   ·有机法制备ITO前驱物浆料第33-36页
     ·有机体系的选择第33-34页
     ·水解催化剂的选择第34-35页
     ·关于浆料浓度的讨论第35-36页
   ·无机法制备ITO前驱物浆料第36-46页
     ·无机法制备ITO前驱物浆料第36页
     ·提高薄膜附着力的方法第36-39页
     ·偶联剂对薄膜附着力性能的影响第39-42页
     ·偶联剂对ITO薄膜结构的影响第42-44页
     ·偶联剂对ITO薄膜导电性能的影响第44页
     ·偶联剂对ITO薄膜导透光性能的影响第44-46页
   ·涂覆工艺第46-47页
   ·热处理第47-51页
第四章 结论第51-53页
参考文献第53-57页
致谢第57-59页
研究成果及发表的学术论文第59-61页
作者和导师简介第61-62页
 作者简介第61页
 导师简介第61-62页
北京化工大学硕士研究生学位论文答辩委员会决议书第62-63页

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