| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题背景 | 第9页 |
| ·多元涂层的国内外研究现状 | 第9-14页 |
| ·梯度复合涂层 | 第11页 |
| ·纳米多层膜研究现状 | 第11-12页 |
| ·多元复合膜 | 第12-13页 |
| ·软涂层 | 第13-14页 |
| ·低摩擦系数多元涂层 | 第14页 |
| ·多元涂层的制备技术介绍 | 第14-17页 |
| ·化学气相沉积（CVD） | 第14-15页 |
| ·物理气相沉积（PVD） | 第15-17页 |
| ·课题研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 实验材料、装置及试验方法 | 第19-25页 |
| ·实验材料及试样制备 | 第19页 |
| ·实验装置简介 | 第19-20页 |
| ·实验方法 | 第20-22页 |
| ·实验过程 | 第20-21页 |
| ·实验方案 | 第21-22页 |
| ·性能测试 | 第22-24页 |
| ·X 射线衍射分析（XRD） | 第22页 |
| ·扫描电镜分析（SEM） | 第22-23页 |
| ·显微硬度测试 | 第23页 |
| ·膜基结合力测试 | 第23页 |
| ·光学显微镜观察 | 第23页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第23页 |
| ·X 射线光电子能谱（XPS） | 第23-24页 |
| ·激光拉曼光谱 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 TiAlSiN 薄膜的微结构及性能研究 | 第25-41页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·薄膜的成分及组织结构分析 | 第25-29页 |
| ·薄膜的显微硬度测试及分析 | 第29-30页 |
| ·摩擦性能测试及分析 | 第30-33页 |
| ·薄膜的膜基结合强度测试及分析 | 第33-35页 |
| ·薄膜的抗氧化性能分析 | 第35-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 TiAlSiCN 和TiAlSiN/WS2薄膜的微结构和性能研究 | 第41-54页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·薄膜的成分分析和微观结构 | 第41-45页 |
| ·TiAlSiCN 薄膜的化学成分分析 | 第41-44页 |
| ·TiAlSiN/WS2 薄膜的SEM 测试结果及分析 | 第44-45页 |
| ·薄膜的显微硬度测试及分析 | 第45-46页 |
| ·TiAlSiCN 薄膜的测试结果及分析 | 第45页 |
| ·TiAlSiN/WS2 薄膜的测试结果及分析 | 第45-46页 |
| ·薄膜的膜基结合力分析 | 第46-48页 |
| ·TiAlSiCN 薄膜的测试结果及分析 | 第46-47页 |
| ·TiAlSiN/WS2 多层薄膜的测试结果及分析 | 第47-48页 |
| ·摩擦磨损性能研究 | 第48-53页 |
| ·TiAlSiCN 薄膜的测试结果及分析 | 第48-50页 |
| ·TiAlSiN/WS2 多层薄膜的测试结果及分析 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
