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p型透明导电氧化物CuAlO2的掺杂研究

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第1章 绪论第10-20页
   ·透明导电氧化物的研究背景及研究意义第10-11页
   ·CuA10_2薄膜的国内外研究现状及分析第11-13页
   ·p型透明导电氧化物CuA10_2的晶体结构和能带结构第13-16页
     ·CuA10_2的晶体结构第13-15页
     ·CuA10_2的电子结构第15-16页
     ·CuA10_2的能带结构第16页
   ·CuA10_2薄膜材料的特性第16-18页
     ·CuA10_2薄膜的电学性质第16-17页
     ·CuA10_2薄膜的光学性质第17页
     ·CuA10_2薄膜的热电性能第17-18页
     ·CuA10_2薄膜的其他性能第18页
   ·本文的研究内容及创新点第18-20页
第2章 CuA10_2薄膜的制备以及表征方法第20-27页
   ·CuA10_2薄膜的制备方法第20-22页
     ·脉冲激光沉积(PLD)法第20-21页
     ·磁控溅射法第21页
     ·化学气相沉积(CVD)第21页
     ·溶胶-凝胶法第21-22页
     ·喷涂热分解法第22页
   ·CuA10_2薄膜的表征方法第22-26页
     ·薄膜的相结构分析第22-23页
     ·薄膜的形貌分析第23页
     ·薄膜的成分分析第23-24页
     ·薄膜的电学性能测试第24-26页
     ·薄膜的光学性能测试第26页
   ·本章小结第26-27页
第3章 CuA10_2陶瓷的制备与物性研究第27-37页
   ·CuA10_2陶瓷的制备工艺第27-28页
     ·固相反应法合成CuA10_2陶瓷第27-28页
   ·CuA10_2陶瓷的结构分析第28-31页
     ·CuA10_2陶瓷的XRD分析第28-29页
     ·CuA1_(1-x)M_x0-2(M=Mg、Ca)陶瓷的XRD分析第29-31页
   ·CuA10_2陶瓷的断面形貌分析第31页
   ·CuA10_2陶瓷的电学性能分析第31-36页
     ·未掺杂的CuA10_2陶瓷的电学性能分析第31-33页
     ·CuA1_(1-x)M_x0-2(M=Mg、Ca)陶瓷的电学性能分析第33-36页
   ·本章小结第36-37页
第4章 CuA10_2薄膜的制备与物性研究第37-56页
   ·PLD法制备CuA10_2薄膜第37-40页
     ·PLD原理第37-39页
     ·PLD法制备CuA10_2薄膜的实验流程第39-40页
     ·CuA10_2薄膜的实验条件第40页
   ·CuA10_2薄膜的结构特性第40-45页
     ·衬底温度对CuA10_2薄膜结构的影响第40-42页
     ·氧分压对CuA10_2 薄膜结构的影响第42页
     ·激光能量和靶基距对CuA10_2薄膜结构的影响第42-44页
     ·Al位掺杂对CuA10_2薄膜结构的影响第44-45页
   ·CuA10_2薄膜的形貌分析第45-47页
   ·CuA10_2薄膜的透射光谱第47-53页
     ·衬底温度对CuA10_2薄膜透射光谱的影响第47-48页
     ·氧分压对CuA10_2薄膜透射光谱的影响第48-49页
     ·掺杂对CuA10_2薄膜透射光谱的影响第49-50页
     ·薄膜光学性能的热稳定性第50-51页
     ·薄膜禁带宽度的计算第51-53页
   ·CuA10_2薄膜的电学性质第53-55页
     ·衬底温度对CuA10_2薄膜电学性能的影响第53-54页
     ·氧分压对CuA10_2薄膜电学性能的影响第54-55页
   ·本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-61页
攻读学位期间发表的学术论文第61-63页
致谢第63页

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