| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| CONTENTS | 第10-12页 |
| 1 绪论 | 第12-23页 |
| ·压印成形技术原理及工艺要素 | 第13-15页 |
| ·压印技术的发展及关键问题 | 第15-18页 |
| ·压印技术的发展现状 | 第15-17页 |
| ·关键问题 | 第17-18页 |
| ·基于聚合物的压印模板及其变种压印工艺 | 第18-21页 |
| ·常规压印模板存在的问题 | 第18-19页 |
| ·基于聚合物的压印模板及其变种压印工艺 | 第19-21页 |
| ·论文的主要工作 | 第21-23页 |
| 2 聚合物模板模铸成形机理、制作工艺及优化 | 第23-48页 |
| ·模铸法工艺过程简介 | 第23-24页 |
| ·聚合物特性分析 | 第24-29页 |
| ·连续体假设 | 第24-26页 |
| ·聚合物的回转半径、粘度修正 | 第26-27页 |
| ·聚合物的表面张力、接触角、重力 | 第27-29页 |
| ·模铸法工艺中聚合物的流动、填充机理分析 | 第29-37页 |
| ·描述聚合物流动的基本方程 | 第29-31页 |
| ·聚合物在母板的微纳米空隙中的流动、填充分析 | 第31-37页 |
| ·模铸法加工聚合物模板工艺优化 | 第37-45页 |
| ·粘度对聚合物模板质量的影响 | 第38-41页 |
| ·真空度对聚合物模板质量的影响 | 第41-43页 |
| ·固化温度对聚合物模板质量的影响 | 第43-45页 |
| ·制作高质量的、纳米尺度特征的聚合物模板 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 3 基于软聚合物模板的室温毛细力辅助压印工艺研究 | 第48-65页 |
| ·软聚合物模板的特点及优势 | 第48-49页 |
| ·基于软聚合物模板的室温毛细力辅助压印工艺 | 第49-51页 |
| ·基于软聚合物模板的室温毛细力辅助压印工艺中阻蚀胶流变填充特性研究. | 第51-60页 |
| ·压印过程建模及其相关设置 | 第51-53页 |
| ·模板图形几何特征对流变填充的影响 | 第53-57页 |
| ·表面张力、接触角的影响 | 第57-58页 |
| ·压印力的影响 | 第58-60页 |
| ·基于软聚合物模板的室温毛细力辅助压印实验 | 第60-63页 |
| ·大面积图形的一步式复制 | 第60-62页 |
| ·微纳米结合图形及曲面图形的复制 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 4 硬聚合物模板及其热固化压印工艺研究 | 第65-88页 |
| ·聚氨酯模板 | 第65-69页 |
| ·柔性导电基底辅助制模法 | 第65-66页 |
| ·柔性导电基底辅助制模法制作平面、曲面聚氨酯模板 | 第66-69页 |
| ·热固化压印工艺 | 第69-75页 |
| ·热固化压印工艺介绍及实验 | 第69-71页 |
| ·实验结果分析 | 第71-74页 |
| ·改进方法和改进后的实验结果 | 第74-75页 |
| ·氟树脂模板 | 第75-83页 |
| ·常温固化氟碳树脂 | 第76-78页 |
| ·改进型氟碳树脂 | 第78-80页 |
| ·改进型氟碳树脂模板制作 | 第80-82页 |
| ·基于改进型氟碳树脂模板的热固化压印实验 | 第82-83页 |
| ·压印模板同基底的共形接触分析 | 第83-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 5 纳米压印工艺中的缺陷分析 | 第88-108页 |
| ·颗粒缺陷 | 第88-90页 |
| ·空气陷入缺陷类型、扩散机理分析 | 第90-97页 |
| ·空气陷入引起的缺陷 | 第90-92页 |
| ·空气在阻蚀胶中的溶解、扩散特性分析 | 第92-96页 |
| ·消除阻蚀胶中的空气陷入缺陷 | 第96-97页 |
| ·曝光时间/固化度对 UV 阻蚀胶复形质量的影响 | 第97-106页 |
| ·UV 阻蚀胶固化过程研究的必要性 | 第97-99页 |
| ·不同曝光时间下的 UV 压印实验 | 第99-100页 |
| ·曝光时间/固化度对阻蚀胶复形质量的影响分析 | 第100-104页 |
| ·曝光时间的优化——固化窗口 | 第104-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 6 表面能差异诱导图形化工艺及其应用 | 第108-123页 |
| ·表面能差异诱导图形化工艺 | 第108-110页 |
| ·表面能差异诱导图形化机理分析 | 第110-115页 |
| ·液膜在基底上的去湿方式及其机理 | 第110-113页 |
| ·表面能差异模板诱导图形化分析 | 第113-115页 |
| ·表面能差异诱导图形化工艺实验 | 第115-117页 |
| ·利用表面能差异诱导图形化工艺制作氧化锌纳米线阵列 | 第117-122页 |
| ·氧化锌纳米线及其制作简介 | 第117-119页 |
| ·表面能差异诱导图形化工艺制作氧化锌纳米线阵列 | 第119-122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 7 结论与展望 | 第123-125页 |
| ·结论 | 第123-124页 |
| ·研究工作展望 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果和获奖情况 | 第132-133页 |