| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.2 应用于40/100G-BASE LR4的接收器 | 第11-13页 |
| 1.2.1 基于分立元件集成的接收器 | 第11-12页 |
| 1.2.2 基于混合集成的接收器 | 第12页 |
| 1.2.3 InP基单片集成的接收器 | 第12-13页 |
| 1.3 多波导垂直集成技术的发展与现状 | 第13-15页 |
| 1.4 波分复用器件 | 第15-19页 |
| 1.4.1 波分复用器种类 | 第15-17页 |
| 1.4.2 EDG的研究现状与进展 | 第17-19页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容和章节安排 | 第19-21页 |
| 2 蚀刻衍射光栅 | 第21-31页 |
| 2.1 蚀刻衍射光栅基本原理和重要参数 | 第21-26页 |
| 2.1.1 基本原理与几何结构 | 第21-23页 |
| 2.1.2 EDG的重要结构参数 | 第23-25页 |
| 2.1.3 EDG的主要性能指标 | 第25-26页 |
| 2.2 EDG的设计与仿真 | 第26-31页 |
| 2.2.1 EDG的设计方法 | 第26-28页 |
| 2.2.2 EDG的数值仿真 | 第28-31页 |
| 3 基于InP平台面向LR4应用的EDG波分复用器 | 第31-51页 |
| 3.1 基于InP平台的EDG的设计及仿真 | 第31-34页 |
| 3.2 基于InP的EDG制作关键工艺与流程 | 第34-42页 |
| 3.2.1 InP基无源器件关键工艺 | 第34-41页 |
| 3.2.2 InP基EDG制作流程 | 第41-42页 |
| 3.3 基于InP平台的EDG的实验结果 | 第42-45页 |
| 3.4 光谱平坦化设计的EDG | 第45-51页 |
| 3.4.1 光谱平坦化的方法概述 | 第45-46页 |
| 3.4.2 弧形齿面法设计原理及仿真 | 第46-49页 |
| 3.4.3 实验结果 | 第49-51页 |
| 4 基于多波导垂直集成平台的SSC和探测器的设计 | 第51-73页 |
| 4.1 常用的InP基集成技术 | 第51-55页 |
| 4.1.1 量子阱混杂技术 | 第51页 |
| 4.1.2 偏置量子阱技术 | 第51-52页 |
| 4.1.3 端对接技术 | 第52-53页 |
| 4.1.4 选择区域外延 | 第53页 |
| 4.1.5 多波导垂直集成技术 | 第53-55页 |
| 4.2 模斑转换器 | 第55-69页 |
| 4.2.1 模斑转换器的基本理论 | 第56-61页 |
| 4.2.2 SSC设计流程与结果分析 | 第61-69页 |
| 4.3 探测器结构设计与芯片整体工艺流程 | 第69-73页 |
| 4.3.1 探测器结构设计 | 第69-71页 |
| 4.3.2 芯片整体工艺流程 | 第71-73页 |
| 5 总结与展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-81页 |
| 作者简历 | 第81页 |