| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 本文的主要研究工作 | 第10-12页 |
| 2 阵列式横向场激励压电体声波器件的高频振动理论分析 | 第12-36页 |
| 2.1 横向场激励的 Mindlin 一阶板理论 | 第12-21页 |
| 2.1.1 三维运动方程 | 第12-14页 |
| 2.1.2 Mindlin 的二维方程组 | 第14-18页 |
| 2.1.3 横向场激励的 Mindlin 一阶板理论 | 第18-21页 |
| 2.2 横向场激励石英晶体板的自由振动分析 | 第21-27页 |
| 2.2.1 色散关系 | 第21-24页 |
| 2.2.2 频谱关系 | 第24-27页 |
| 2.3 横向场激励石英晶体阵列器件的受迫振动分析 | 第27-35页 |
| 2.3.1 动态电容 | 第27-32页 |
| 2.3.2 算例及耦合分析 | 第32-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 阵列式横向场激励压电体声波器件各参数对振动特性的影响 | 第36-46页 |
| 3.1 各参数对横向场阵列器件振动和能陷特性的影响 | 第36-40页 |
| 3.1.1 质量比R对振动特性的影响 | 第36-37页 |
| 3.1.2 电极宽度b对振动特性的影响 | 第37-39页 |
| 3.1.3 单对电极间距d对振动特性的影响 | 第39-40页 |
| 3.2 LFE-B 各参数对 LFE-A 振动特性的影响 | 第40-44页 |
| 3.2.1 LFE-B质量比R_2对 LFE-A 振动特性的影响 | 第40-42页 |
| 3.2.2 LFE-B 电极宽度b_2对 LFE-A 振动特性的影响 | 第42-44页 |
| 3.2.3 LFE-B 电极间距d_2对 LFE-A 振动特性的影响 | 第44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 4 阵列式横向场激励压电体声波器件的高频振动有限元分析 | 第46-62页 |
| 4.1 有限元分析方法 | 第46-52页 |
| 4.1.1 建立有限元模型 | 第47页 |
| 4.1.2 施加物理场 | 第47页 |
| 4.1.3 网格划分及收敛性分析 | 第47-49页 |
| 4.1.4 结果分析 | 第49-50页 |
| 4.1.5 理论与有限元结果对比 | 第50-52页 |
| 4.2 各参数对频率位移的影响 | 第52-56页 |
| 4.2.1 LFE-A 电极宽度b_1和 LFE-B 电极宽度b_2 | 第52-54页 |
| 4.2.2 LFE-A 电极间距d_1和 LFE-B 电极间距d_2 | 第54-56页 |
| 4.3 各参数对频率干涉的影响 | 第56-61页 |
| 4.3.1 LFE-A 电极宽度b_1和 LFE-B 电极宽度b_2 | 第57-59页 |
| 4.3.2 LFE-A 电极间距d_1和 LFE-B 电极间距d_2 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 总结 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 在学研究成果 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
