基于光栅检测的微陀螺设计与研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 研究背景、目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-20页 |
| 1.2.1 微机械陀螺的发展现状 | 第10-17页 |
| 1.2.2 光栅干涉测量的发展现状 | 第17-20页 |
| 1.3 论文主要研究内容和章节安排 | 第20-22页 |
| 2 光栅式微机械陀螺的理论分析 | 第22-38页 |
| 2.1 科氏效应原理 | 第22-23页 |
| 2.2 微陀螺动力学特性分析 | 第23-29页 |
| 2.2.1 二阶动力学方程的建立 | 第23-25页 |
| 2.2.2 微陀螺的动力学方程解析 | 第25-29页 |
| 2.3 微机械陀螺的阻尼分析 | 第29-33页 |
| 2.3.1 空气阻尼分析 | 第29-33页 |
| 2.3.2 热弹性阻尼模型 | 第33页 |
| 2.4 微陀螺的电磁驱动与反馈分析 | 第33-35页 |
| 2.5 光栅位移检测原理 | 第35-37页 |
| 2.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 3 光栅微陀螺器件级设计 | 第38-56页 |
| 3.1 光栅微陀螺原理与参数规划 | 第38-40页 |
| 3.1.1 光栅微陀螺工作原理 | 第38-39页 |
| 3.1.2 微陀螺参数规划 | 第39-40页 |
| 3.2 微陀螺结构仿真与计算 | 第40-47页 |
| 3.2.1 结构优化设计 | 第41-44页 |
| 3.2.2 结构灵敏度仿真计算 | 第44-47页 |
| 3.3 光栅衍射理论研究与仿真计算 | 第47-52页 |
| 3.3.1 单层光栅衍射理论 | 第47-50页 |
| 3.3.2 光电灵敏度计算 | 第50-52页 |
| 3.4 微陀螺系统级分析 | 第52-55页 |
| 3.4.1 系统级仿真计算 | 第52-53页 |
| 3.4.2 预期指标计算 | 第53-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 4 微陀螺工艺设计与微位移测试 | 第56-63页 |
| 4.1 工艺流程设计 | 第56-58页 |
| 4.2 版图设计 | 第58-59页 |
| 4.3 微位移测试 | 第59-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 5 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 全文总结 | 第63页 |
| 5.2 未来展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
