| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 生物医用材料 | 第12-13页 |
| 1.2 钛合金材料 | 第13-14页 |
| 1.2.1 钛合金材料组织和性能 | 第13页 |
| 1.2.2 钛合金材料在医学领域的应用研究 | 第13-14页 |
| 1.3 医用钛合金材料表面改性 | 第14-20页 |
| 1.3.1 TiN的性质 | 第14-15页 |
| 1.3.2 TiN薄膜制备方法的研究 | 第15-16页 |
| 1.3.3 TiN薄膜的摩擦磨损性能研究现状 | 第16-20页 |
| 1.3.4 TiN薄膜中存在的问题 | 第20页 |
| 1.4 本课题研究意义和内容 | 第20-22页 |
| 1.4.1 研究意义 | 第20页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验方法 | 第22-32页 |
| 2.1 研究技术路线 | 第22页 |
| 2.2 TiN薄膜的制备 | 第22-25页 |
| 2.2.1 反应磁控溅射的原理 | 第23页 |
| 2.2.2 磁控溅射工艺 | 第23-24页 |
| 2.2.3 多层TiN/Ti薄膜制备工艺 | 第24-25页 |
| 2.2.4 梯度TiN薄膜制备工艺 | 第25页 |
| 2.3 薄膜形貌和结构表征 | 第25-28页 |
| 2.3.1 薄膜微观形貌观察 | 第25-26页 |
| 2.3.2 薄膜晶体结构分析 | 第26页 |
| 2.3.3 表面粗糙度测定 | 第26-27页 |
| 2.3.4 薄膜润湿角和表面能的测定 | 第27-28页 |
| 2.4 薄膜力学性能测试 | 第28-32页 |
| 2.4.1 显微硬度 | 第28页 |
| 2.4.2 纳米硬度和弹性模量 | 第28页 |
| 2.4.3 膜基结合力 | 第28-30页 |
| 2.4.4 摩擦磨损性能 | 第30-32页 |
| 第3章 多层TiN/Ti薄膜结构与性能 | 第32-42页 |
| 3.1 不同循环周期下TiN/Ti多层薄膜表面形貌 | 第32-35页 |
| 3.2 循环周期对TiN/Ti多层膜的影响 | 第35-41页 |
| 3.2.1 循环周期对TiN/Ti多层膜晶体结构的影响 | 第35页 |
| 3.2.2 循环周期对TiN/Ti纳米多层膜显微硬度的影响 | 第35-36页 |
| 3.2.3 循环周期对TiN/Ti纳米多层膜结合力的影响 | 第36-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 梯度纳米TiN薄膜的结构与性能 | 第42-52页 |
| 4.1 渐变时间对TiN成分梯度薄膜的影响 | 第42-48页 |
| 4.1.1 渐变时间对TiN成分梯度薄膜晶体结构的影响 | 第42-43页 |
| 4.1.2 渐变时间对TiN成分梯度薄膜显微硬度的影响 | 第43-44页 |
| 4.1.3 渐变时间对TiN成分梯度薄膜结合力的影响 | 第44-48页 |
| 4.2 不同N_2流量下纳米TiN粒子TEM分析 | 第48-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 第5章 多层膜与梯度膜摩擦磨损性能及机理研究 | 第52-70页 |
| 5.1 不同成分、结构的TiN薄膜摩擦特性 | 第52-55页 |
| 5.1.1 多层周期TiN/Ti薄膜摩擦特性 | 第52-54页 |
| 5.1.2 成分梯度变化TiN薄膜摩擦特性 | 第54-55页 |
| 5.2 TiN薄膜摩擦特性影响因素 | 第55-59页 |
| 5.2.1 表面粗糙度对TiN薄膜摩擦特性的影响 | 第55-58页 |
| 5.2.2 表面疏水性对TiN薄膜摩擦特性的影响 | 第58-59页 |
| 5.3 不同工艺制备的TiN薄膜磨痕形貌及磨损机理 | 第59-65页 |
| 5.3.1 多层TiN/Ti薄膜磨损形貌及磨损机理 | 第59-63页 |
| 5.3.2 成分梯度变化TiN薄膜磨损形貌及磨损机理 | 第63-65页 |
| 5.4 成分、结构对TiN薄膜磨损速率的影响 | 第65-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-70页 |
| 第6章 结论与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
