激光散斑离面变形微纳测量技术研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-23页 |
| 1.1 微纳测量研究和应用背景介绍 | 第16-17页 |
| 1.1.1 微纳米技术发展现状 | 第16页 |
| 1.1.2 微纳测量技术 | 第16-17页 |
| 1.2 激光散斑干涉微纳测量技术 | 第17-21页 |
| 1.2.1 电子散斑干涉技术起源和发展现状 | 第17-19页 |
| 1.2.2 激光散斑干涉在微纳测量领域的应用 | 第19-21页 |
| 1.3 本课题研究的主要目的和内容 | 第21-23页 |
| 第二章 激光散斑干涉测量基本原理 | 第23-38页 |
| 2.1 散斑计量 | 第23-31页 |
| 2.1.1 散斑现象 | 第23-24页 |
| 2.1.2 散斑的统计特性 | 第24-26页 |
| 2.1.3 散斑计量技术 | 第26-31页 |
| 2.2 激光散斑离面变形测量 | 第31-35页 |
| 2.2.1 离面变形测量基本原理 | 第31-33页 |
| 2.2.2 条纹的获取 | 第33-35页 |
| 2.3 ESPI显微干涉结构 | 第35-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 干涉条纹分析和相位提取 | 第38-51页 |
| 3.1 四步相移法提取相位 | 第38-43页 |
| 3.1.1 基本原理 | 第38-42页 |
| 3.1.2 实现方式 | 第42-43页 |
| 3.2 条纹图和包裹相位图滤波算法 | 第43-50页 |
| 3.2.1 各向异性扩散滤波 | 第43-46页 |
| 3.2.2 自适应加权滤波 | 第46-48页 |
| 3.2.3 包裹相位图的正余弦滤波 | 第48-50页 |
| 3.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 相位解包裹 | 第51-73页 |
| 4.1 相位解包裹介绍 | 第51-57页 |
| 4.1.1 相位解包裹的基本原理 | 第51-53页 |
| 4.1.2 实际解包裹的难点 | 第53-57页 |
| 4.2 一维相位解包裹 | 第57-59页 |
| 4.3 二维相位解包裹 | 第59-72页 |
| 4.3.1 行列逐点法 | 第60-62页 |
| 4.3.2 基于可靠度排序的非连续路径算法 | 第62-66页 |
| 4.3.3 基于图像分解的自动相位解包裹 | 第66-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 测量系统搭建及实验分析 | 第73-89页 |
| 5.1 基于相移法的激光散斑离面变形微纳测量系统 | 第73-79页 |
| 5.1.1 测量系统硬件光路设计和搭建 | 第73-77页 |
| 5.1.2 测量相关算法和软件设计 | 第77-79页 |
| 5.2 压电陶瓷相移器标定 | 第79-82页 |
| 5.3 实验和结果分析 | 第82-85页 |
| 5.4 验证性实验 | 第85-87页 |
| 5.5 本章小结 | 第87-89页 |
| 第六章 总结及展望 | 第89-91页 |
| 6.1 工作总结 | 第89页 |
| 6.2 未来展望 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动和成果情况 | 第95页 |
