| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-22页 |
| 1.1 课题来源和研究意义 | 第16页 |
| 1.2 准分子激光器简介 | 第16-17页 |
| 1.3 国内外发展现状与趋势 | 第17-21页 |
| 1.3.1 国内外关于准分子激光器的发展现状 | 第17-18页 |
| 1.3.2 温控现状 | 第18-20页 |
| 1.3.3 准分子激光器温控系统研究现状 | 第20-21页 |
| 1.4 课题研究目的及主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 准分子激光器温度控制系统方案设计 | 第22-31页 |
| 2.1 准分子激光器水冷工作原理 | 第22-23页 |
| 2.2 温控系统结构 | 第23-24页 |
| 2.3 控制方案介绍 | 第24-27页 |
| 2.3.1 比例阀控制器控制 | 第24页 |
| 2.3.2 工控机控制 | 第24-25页 |
| 2.3.3 单片机控制 | 第25-26页 |
| 2.3.4 方案比较 | 第26-27页 |
| 2.4 温控系统总体方案 | 第27-30页 |
| 2.4.1 系统组成 | 第27-29页 |
| 2.4.2 温控系统功能及工作原理 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 温度控制系统硬件设计 | 第31-44页 |
| 3.1 温度采样电路 | 第31-35页 |
| 3.1.1 温度传感器的选择 | 第31页 |
| 3.1.2 温度传感器 | 第31-32页 |
| 3.1.3 信号采集与调理电路 | 第32-35页 |
| 3.2 A/D转换电路 | 第35-36页 |
| 3.3 驱动电路 | 第36-38页 |
| 3.4 主控电路 | 第38-43页 |
| 3.4.1 主芯片介绍 | 第38页 |
| 3.4.2 主芯片外围电路 | 第38-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 温控系统软件设计 | 第44-60页 |
| 4.1 经典PID控制 | 第44-47页 |
| 4.1.1 模拟PID控制算法 | 第44-46页 |
| 4.1.2 位置式PID算法 | 第46页 |
| 4.1.3 增量式PID算法 | 第46-47页 |
| 4.2 改进增量式PID控制 | 第47页 |
| 4.3 智能PID控制 | 第47-52页 |
| 4.3.1 专家控制理论 | 第48-49页 |
| 4.3.2 智能PID控制算法 | 第49-52页 |
| 4.4 软件设计 | 第52-59页 |
| 4.4.1 温度测量模块 | 第53页 |
| 4.4.2 数字滤波 | 第53-56页 |
| 4.4.3 控制算法的软件实现 | 第56-57页 |
| 4.4.4 按键及显示 | 第57页 |
| 4.4.5 串行通信模块 | 第57-58页 |
| 4.4.6 上位机程序设计 | 第58-59页 |
| 4.5 本章总结 | 第59-60页 |
| 第五章 仿真与实验 | 第60-74页 |
| 5.1 系统结构辨识 | 第60-61页 |
| 5.2 仿真 | 第61-65页 |
| 5.2.1 PID仿真 | 第61-63页 |
| 5.2.2 改进PID仿真 | 第63-64页 |
| 5.2.3 智能PID仿真 | 第64-65页 |
| 5.3 能量与温度实验 | 第65-66页 |
| 5.4 温控实验 | 第66-69页 |
| 5.5 Smith预估补偿控制 | 第69-73页 |
| 5.5.1 纯滞后环节带来的影响 | 第70页 |
| 5.5.2 Smith预估控制原理 | 第70-71页 |
| 5.5.3 基于Smith预估补偿控制的PID仿真 | 第71-73页 |
| 5.6 本章总结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-75页 |
| 6.1 总结 | 第74页 |
| 6.2 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第78页 |