| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第16页 |
| 1.2 跨尺度纳米定位工作台研究现状 | 第16-22页 |
| 1.3 机器视觉研究现状 | 第22-23页 |
| 1.4 课题主要研究内容及来源 | 第23-24页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第23页 |
| 1.4.2 课题来源 | 第23-24页 |
| 第二章 工作台工作原理及整体控制方案 | 第24-28页 |
| 2.1 跨尺度二维工作台系统工作原理 | 第24-25页 |
| 2.2 整体控制方案 | 第25-28页 |
| 第三章 跨尺度二维工作台系统搭建 | 第28-50页 |
| 3.1 视觉系统 | 第28-39页 |
| 3.1.1 视觉系统组成 | 第28-30页 |
| 3.1.2 机器视觉理论 | 第30-31页 |
| 3.1.3 图像处理方法 | 第31-32页 |
| 3.1.4 像素坐标与空间坐标 | 第32-34页 |
| 3.1.5 摄像机标定 | 第34-38页 |
| 3.1.6 起点与终点的选取 | 第38-39页 |
| 3.2 二维宏动工作台 | 第39-40页 |
| 3.3 六自由度微动工作台 | 第40-45页 |
| 3.3.1 微动工作台机械结构 | 第40-44页 |
| 3.3.2 微动工作台运动范围测试 | 第44-45页 |
| 3.4 测长系统 | 第45-50页 |
| 3.4.1 测长系统的组成 | 第45-46页 |
| 3.4.2 微纳米三维接触式测量探头的原理及机械结构 | 第46-48页 |
| 3.4.3 测量探头的信号采集与计数 | 第48页 |
| 3.4.4 测量探头的标定 | 第48-50页 |
| 第四章 关键控制技术及参数优化 | 第50-53页 |
| 4.1 二维宏动工作台高低速转换的实现 | 第50-52页 |
| 4.2 宏、微动工作台配合阈值 | 第52页 |
| 4.3 测量探头与宏、微动台协同控制方案 | 第52-53页 |
| 第五章 跨尺度二维工作台系统测试及分析 | 第53-62页 |
| 5.1 工作台直线运动误差测试 | 第54-55页 |
| 5.2 工作台角度误差测试 | 第55-59页 |
| 5.3 工作台系统定位测试 | 第59-61页 |
| 5.4 工作台定位精度影响因素分析 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 研究成果总结 | 第62页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第67页 |