| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 插图索引 | 第12-14页 |
| 附表索引 | 第14-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-26页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第15-16页 |
| 1.2 国内外双面平面研磨机研究现状 | 第16-20页 |
| 1.2.1 国外双面平面研磨机研究现状 | 第16-17页 |
| 1.2.2 国内双面平面研磨机研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3 国内外液体静压轴承研究现状 | 第20-23页 |
| 1.3.1 国外液体静压轴承研究现状 | 第20-21页 |
| 1.3.2 国内液体静压轴承研究现状 | 第21-23页 |
| 1.4 存在的问题 | 第23-24页 |
| 1.5 研究的主要内容 | 第24-26页 |
| 第2章 研磨机液体静压转台设计开发 | 第26-31页 |
| 2.1 研磨机液体静压转台整体结构设计 | 第26-28页 |
| 2.2 研磨机液体静压转台整体油路设计 | 第28-29页 |
| 2.3 研磨机液体静压转台的密封 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 液体静压转台倾斜轴系承载特性分析方法研究 | 第31-54页 |
| 3.1 微元积分法求解止推轴承倾斜油膜油腔压力 | 第31-36页 |
| 3.1.1 止推轴承图的说明 | 第31-32页 |
| 3.1.2 基本假设 | 第32-33页 |
| 3.1.3 止推轴承油膜厚度函数 | 第33页 |
| 3.1.4 止推轴承油膜各点的速度 | 第33页 |
| 3.1.5 止推轴承各封油边的流量 | 第33-36页 |
| 3.1.6 止推轴承油腔的压力 | 第36页 |
| 3.2 当量油膜厚度法求解止推轴承倾斜油膜油腔压力 | 第36-38页 |
| 3.2.1 止推轴承各封油边当量油膜厚度 | 第36-37页 |
| 3.2.2 止推轴承各封油边流量 | 第37-38页 |
| 3.2.3 止推轴承油腔的压力 | 第38页 |
| 3.3 止推轴承倾斜油膜承载力、刚度、弯矩和流量计算 | 第38-39页 |
| 3.4 微元积分法求解径向轴承倾斜油膜油腔压力 | 第39-44页 |
| 3.4.1 径向轴承图的说明 | 第40-41页 |
| 3.4.2 基本假设 | 第41页 |
| 3.4.3 径向轴承油膜厚度函数 | 第41页 |
| 3.4.4 径向轴承油膜各点的速度 | 第41-42页 |
| 3.4.5 径向轴承各封油边的流量 | 第42-44页 |
| 3.4.6 径向轴承油腔的压力 | 第44页 |
| 3.5 当量油膜厚度法求解径向轴承倾斜油膜油腔压力 | 第44-46页 |
| 3.5.1 径向轴承各封油边当量油膜厚度 | 第44-45页 |
| 3.5.2 径向轴承各封油边的流量 | 第45页 |
| 3.5.3 径向轴承油腔的压力 | 第45-46页 |
| 3.6 径向轴承倾斜油膜承载力、刚度、弯矩和流量计算 | 第46-47页 |
| 3.7 开式和闭式静压转台倾斜承载特性解析求解及对比研究 | 第47-52页 |
| 3.7.1 闭式静压转台各轴承倾斜油膜承载特性分析 | 第47-49页 |
| 3.7.2 开式和闭式静压转台承载力解析求解及对比研究 | 第49-50页 |
| 3.7.3 开式和闭式静压转台刚度解析求解及对比研究 | 第50-52页 |
| 3.7.4 开式和闭式静压转台弯矩解析求解及对比研究 | 第52页 |
| 3.8 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 倾斜润滑油膜流场数值计算及性能研究 | 第54-80页 |
| 4.1 CFD 概述 | 第54-61页 |
| 4.1.1 CFD 基本思想 | 第54页 |
| 4.1.2 CFD 基本控制方程 | 第54-59页 |
| 4.1.3 CFD 控制方程的离散 | 第59-60页 |
| 4.1.4 CFD 问题的解决过程 | 第60-61页 |
| 4.2 止推轴承倾斜油膜流场数值计算 | 第61-63页 |
| 4.2.1 几何模型的建立 | 第61页 |
| 4.2.2 计算域网格划分 | 第61-62页 |
| 4.2.3 求解条件的设定 | 第62-63页 |
| 4.3 各参数对止推轴承倾斜油膜流场特性的影响 | 第63-71页 |
| 4.3.1 倾斜位移率对压力场、速度场分布特性的影响 | 第63-66页 |
| 4.3.2 转速对压力场、速度场分布特性的影响 | 第66-68页 |
| 4.3.3 供油压力对压力场、速度场分布特性的影响 | 第68-69页 |
| 4.3.4 节流孔径对压力场、速度场分布特性的影响 | 第69-71页 |
| 4.4 径向轴承倾斜油膜流场数值计算 | 第71-73页 |
| 4.4.1 几何模型的建立 | 第72页 |
| 4.4.2 计算域网格划分 | 第72-73页 |
| 4.4.3 求解条件的确定 | 第73页 |
| 4.5 各参数对径向轴承倾斜油膜流场特性的影响 | 第73-79页 |
| 4.5.1 倾斜位移率对压力场、速度场分布特性的影响 | 第74-75页 |
| 4.5.2 转速对压力场、速度场分布特性的影响 | 第75-76页 |
| 4.5.3 供油压力对压力场、速度场分布特性的影响 | 第76-77页 |
| 4.5.4 节流孔径对压力场、速度场分布特性的影响 | 第77-79页 |
| 4.6 本章小结 | 第79-80页 |
| 第5章 静压转台倾斜润滑油膜承载特性分析研究 | 第80-97页 |
| 5.1 当量油膜厚度法的验证 | 第80-82页 |
| 5.1.1 微元积分法与当量油膜厚度法计算结果比较 | 第80-81页 |
| 5.1.2 数值计算法与当量油膜厚度法计算结果比较 | 第81-82页 |
| 5.2 静压止推轴承倾斜油膜承载特性分析研究 | 第82-86页 |
| 5.2.1 倾斜位移率对静压止推轴承承载力的影响 | 第82-84页 |
| 5.2.2 转速对静压止推轴承倾斜油膜承载特性的影响 | 第84页 |
| 5.2.3 供油压力对静压止推轴承倾斜油膜承载特性的影响 | 第84-85页 |
| 5.2.4 节流孔径对静压止推轴承倾斜油膜承载特性的影响 | 第85-86页 |
| 5.3 静压径向轴承倾斜油膜承载特性分析研究 | 第86-91页 |
| 5.3.1 偏心率对静压径向轴承倾斜油膜承载特性的影响 | 第86-88页 |
| 5.3.2 转速对静压径向轴承倾斜油膜承载特性的影响 | 第88-89页 |
| 5.3.3 供油压力对静压径向轴承倾斜油膜承载特性的影响 | 第89-90页 |
| 5.3.4 节流孔径对静压径向轴承倾斜油膜承载特性的影响 | 第90-91页 |
| 5.4 开式和闭式静压转台倾斜承载特性对比研究 | 第91-95页 |
| 5.4.1 转速对开式和闭式静压转台倾斜承载特性的影响 | 第91-93页 |
| 5.4.2 供油压力对开式和闭式静压转台倾斜承载特性的影响 | 第93-94页 |
| 5.4.3 节流孔径对开式和闭式静压转台倾斜承载特性的影响 | 第94-95页 |
| 5.5 本章小结 | 第95-97页 |
| 第6章 实验研究 | 第97-102页 |
| 6.1 实验设备与仪器 | 第97-98页 |
| 6.2 实验及结果分析 | 第98-101页 |
| 6.2.1 实验目的 | 第98页 |
| 6.2.2 测试方法 | 第98-99页 |
| 6.2.3 实验步骤 | 第99页 |
| 6.2.4 实验结果分析 | 第99-101页 |
| 6.3 本章小结 | 第101-102页 |
| 结论 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 附录A(攻读硕士学位期间所发表的学术论文) | 第109-110页 |
| 附录B(攻读硕士学位期间所参加的科研项目) | 第110-111页 |
| 附录C(攻读学位期间所申请的专利目录) | 第111页 |