| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-8页 |
| 第1章 引言 | 第16-38页 |
| 1.1 研究背景 | 第16-18页 |
| 1.2 国内外研究现状与发展趋势 | 第18-32页 |
| 1.2.1 非球面面形检测方法概述 | 第18-25页 |
| 1.2.2 光线追迹和特征函数在干涉面形检测系统建模中的应用 | 第25-32页 |
| 1.3 基于光线追迹和特征函数的建模方法及分类 | 第32-35页 |
| 1.4 研究内容 | 第35-38页 |
| 第2章 光线追迹和特征函数理论基础 | 第38-58页 |
| 2.1 光线追迹 | 第38-44页 |
| 2.1.1 非偏振光线追迹 | 第39-40页 |
| 2.1.2 偏振光线追迹 | 第40-41页 |
| 2.1.3 序列光线追迹 | 第41-42页 |
| 2.1.4 非序列光线追迹 | 第42-44页 |
| 2.2 特征函数 | 第44-50页 |
| 2.2.1 光学系统特征函数定义 | 第44-45页 |
| 2.2.2 旋转对称折射面、反射面以及CGH衍射面低阶角特征函数 | 第45-48页 |
| 2.2.3 四阶角特征函数与四阶波像差的关系 | 第48-49页 |
| 2.2.4 旋转对称光学系统特征函数高阶展开式 | 第49-50页 |
| 2.3 适用范围 | 第50-55页 |
| 2.4 计算全息片等效光线模型 | 第55-57页 |
| 2.5 小结 | 第57-58页 |
| 第3章 基于序列非偏振追迹的建模 | 第58-86页 |
| 3.1 FIZEAU干涉仪模型 | 第58-64页 |
| 3.1.1 建模思路 | 第58-60页 |
| 3.1.2 干涉仪在理想状态下检测误差以及频谱展宽和环境稳定性影响 | 第60-64页 |
| 3.1.4 小结 | 第64页 |
| 3.2 计算全息片补偿器畸变标定模型 | 第64-71页 |
| 3.2.1 畸变曲线获取思路 | 第65-67页 |
| 3.2.2 仿真与实测畸变曲线比较及畸变引入面形误差讨论 | 第67-71页 |
| 3.2.3 小结 | 第71页 |
| 3.3 变形镜补偿器模型 | 第71-86页 |
| 3.3.1 补偿器基本原理 | 第71-76页 |
| 3.3.2 补偿器建模思路 | 第76-79页 |
| 3.3.3 补偿器可测范围及变形镜位置公差分析 | 第79-84页 |
| 3.3.4 小结 | 第84-86页 |
| 第4章 基于非序列偏振追迹的CGH补偿器杂散光面形误差建模 | 第86-98页 |
| 4.1 补偿器结构及杂散光命名规则 | 第87-90页 |
| 4.2 杂散光面形误差非序列偏振追迹建模思路 | 第90-93页 |
| 4.3 杂散光面形误差仿真和实验比较 | 第93-97页 |
| 4.4 小结 | 第97-98页 |
| 第5章 基于低阶特征函数的CGH补偿器杂散光光线像差建模 | 第98-114页 |
| 5.1 补偿器结构 | 第99-100页 |
| 5.2 CGH补偿器中杂散光特征函数及波像差 | 第100-105页 |
| 5.3 在级数展开下杂散光波像差定性讨论 | 第105-107页 |
| 5.4 CGH补偿器杂散光猫眼平面光线像差建模思路 | 第107-108页 |
| 5.5 系统设计分析 | 第108-113页 |
| 5.6 小结 | 第113-114页 |
| 第6章 基于高阶特征函数FIZEAU干涉仪回程误差建模 | 第114-124页 |
| 6.1 FIZEAU干涉仪中回程误差求解等效成像模型 | 第115-118页 |
| 6.2 FIZEAU干涉仪倾斜加载回程误差建模思路 | 第118-119页 |
| 6.3 特征函数和光线追迹求解回程误差比较 | 第119-122页 |
| 6.4 小结 | 第122-124页 |
| 第7章 全文总结及展望 | 第124-128页 |
| 7.1 全文总结 | 第124-125页 |
| 7.2 主要创新点 | 第125-126页 |
| 7.3 研究展望 | 第126-128页 |
| 参考文献 | 第128-136页 |
| 致谢 | 第136-138页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第138页 |
