| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第14-42页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第14-17页 |
| 1.2 常用的非球面加工技术简介 | 第17-38页 |
| 1.2.1 传统光学加工法 | 第17-18页 |
| 1.2.2 范成法非球面加工 | 第18-19页 |
| 1.2.3 计算机控制光学表面成形法 | 第19-22页 |
| 1.2.4 小磨盘加工法 | 第22-25页 |
| 1.2.5 应力加工法和应力盘加工法 | 第25-27页 |
| 1.2.6 气囊抛光法 | 第27-28页 |
| 1.2.7 等离子体化学蒸发法 | 第28-29页 |
| 1.2.8 磁流变抛光法 | 第29-32页 |
| 1.2.9 离子束抛光法 | 第32-37页 |
| 1.2.10 加工技术小结 | 第37-38页 |
| 1.3 研究的目的和意义 | 第38页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第38-42页 |
| 第2章 离子束抛光材料去除原理与去除模型建立 | 第42-76页 |
| 2.1 概述 | 第42-43页 |
| 2.2 离子束抛光材料去除 | 第43-48页 |
| 2.2.1 离子与物质作用物理过程 | 第43-45页 |
| 2.2.2 离子溅射效应 | 第45-47页 |
| 2.2.3 离子束抛光去除函数的形成 | 第47-48页 |
| 2.3 离子束抛光去除函数特点 | 第48-57页 |
| 2.3.1 光学加工离子源性能对比 | 第48-52页 |
| 2.3.2 去除函数的光学加工特征 | 第52-54页 |
| 2.3.3 离子入射参数对去除函数的影响 | 第54-57页 |
| 2.4 离子束抛光去除函数的在线测量 | 第57-66页 |
| 2.4.1 离子束空间分布测量 | 第57-60页 |
| 2.4.2 离子浓度分布于去除函数关系 | 第60-66页 |
| 2.5 离子源工作参数对去除函数的影响 | 第66-73页 |
| 2.5.1 离子能量电压、气体流量与射频功率的影响 | 第67-69页 |
| 2.5.2 离子光学系统对去除函数的影响 | 第69-73页 |
| 2.5.3 离子束中和电流与工作距离对去除函数的影响 | 第73页 |
| 2.6 本章小结 | 第73-76页 |
| 第3章 离子束抛光非球面去除函数计算 | 第76-108页 |
| 3.1 概述 | 第76-77页 |
| 3.2 去除函数在非球面上的变化 | 第77-86页 |
| 3.2.1 镜面曲率与入射角度影响 | 第77-80页 |
| 3.2.2 离子束流浓度变化影响 | 第80-83页 |
| 3.2.3 曲面去除函数计算 | 第83-84页 |
| 3.2.4 不同离子束抛光系统中去除函数变化 | 第84-86页 |
| 3.3 三轴离子束抛光系统曲面去除函数补偿 | 第86-97页 |
| 3.3.1 镜面法线方向去除函数 | 第87-93页 |
| 3.3.2 实验室坐标系h方向去除函数 | 第93-97页 |
| 3.4 离子束抛光算法 | 第97-102页 |
| 3.5 加工实验 | 第102-105页 |
| 3.6 本章小结 | 第105-108页 |
| 第4章 离子束抛光工艺研究 | 第108-130页 |
| 4.1 概述 | 第108-109页 |
| 4.2 离子束抛光对表面粗糙度的影响 | 第109-118页 |
| 4.2.1 离子束流对材料表面的粗糙化效应与光滑化效应 | 第109-111页 |
| 4.2.2 影响镜面粗糙度演化的因素与离子束直接光滑效应 | 第111-116页 |
| 4.2.3 牺牲层辅助离子束抛光法提升表面质量 | 第116-118页 |
| 4.3 离子束抛光对中频误差的抑制 | 第118-123页 |
| 4.3.1 中频误差的产生于去除 | 第118-119页 |
| 4.3.2 大磨盘与离子束组合抑制中频误差 | 第119-120页 |
| 4.3.3 附加材料辅助离子束抛光法抑制中频误差 | 第120-123页 |
| 4.4 离子束抛光中的热效应 | 第123-127页 |
| 4.4.1 离子束抛光热效应模型 | 第123-126页 |
| 4.4.2 离子束抛光热效应控制 | 第126-127页 |
| 4.5 本章小结 | 第127-130页 |
| 第5章 离子束抛光工程应用 | 第130-140页 |
| 5.1 概述 | 第130页 |
| 5.2 离子束抛光数据库与去除函数在线优化 | 第130-132页 |
| 5.3 离子束抛光工作流程 | 第132-134页 |
| 5.4 加工实验 | 第134-138页 |
| 5.5 本章小结 | 第138-140页 |
| 第6章 结论与展望 | 第140-144页 |
| 6.1 总结 | 第140-141页 |
| 6.2 论文创新点 | 第141页 |
| 6.3 工作展望 | 第141-144页 |
| 参考文献 | 第144-154页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第154-156页 |
| 指导教师及作者简介 | 第156-158页 |
| 致谢 | 第158页 |
