基于条纹反射法的大口径非球面反射镜面形检测技术研究
摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-9页 |
第1章 绪论 | 第14-30页 |
1.1 引言 | 第14-15页 |
1.2 非球面检测方法 | 第15-24页 |
1.2.1 轮廓检测方法 | 第15-17页 |
1.2.2 光学干涉检测 | 第17-22页 |
1.2.3 大口径非球面检测 | 第22-24页 |
1.3 条纹反射检测技术的发展概述 | 第24-27页 |
1.4 课题研究的目的与意义 | 第27页 |
1.5 本论文的主要研究内容 | 第27-30页 |
第2章 条纹反射检测理论基础 | 第30-60页 |
2.1 引言 | 第30-32页 |
2.2 条纹反射检测法 | 第32-42页 |
2.2.1 条纹反射检测原理 | 第33-34页 |
2.2.2 检测方法的模型 | 第34-41页 |
2.2.3 检测方法的类型 | 第41-42页 |
2.3 条纹反射检测分辨率与测量范围 | 第42-45页 |
2.3.1 条纹反射检测分辨率 | 第43-44页 |
2.3.2 条纹反射检测测量范围 | 第44-45页 |
2.4 条纹反射检测法的关键技术 | 第45-58页 |
2.4.1 数字相移法 | 第45-50页 |
2.4.2 相位展开 | 第50-52页 |
2.4.3 波前重构 | 第52-58页 |
2.5 本章小结 | 第58-60页 |
第3章 基于SCOTS的正弦条纹反射检测系统研究 | 第60-96页 |
3.1 引言 | 第60-61页 |
3.2 SCOTS检测原理 | 第61-64页 |
3.2.1 SCOTS测量斜率原理 | 第61-63页 |
3.2.2 SCOTS的检测原理 | 第63-64页 |
3.3 SCOTS仿真分析 | 第64-67页 |
3.3.1 光线追迹模型 | 第65-66页 |
3.3.2 误差仿真分析 | 第66-67页 |
3.4 SCOTS的几何测量与标定 | 第67-90页 |
3.4.1 SCOTS的几何测量 | 第67-68页 |
3.4.2 反射光线标定 | 第68-81页 |
3.4.3 入射光线标定 | 第81-90页 |
3.5 SCOTS检测实验 | 第90-94页 |
3.5.1 实验装置及设备 | 第91-92页 |
3.5.2 实验过程与检测结果 | 第92-94页 |
3.6 本章小结 | 第94-96页 |
第4章 SCOTS标定技术研究 | 第96-114页 |
4.1 引言 | 第96页 |
4.2 基于移动屏幕的反射光线标定 | 第96-99页 |
4.2.1 反射光线标定原理 | 第96-98页 |
4.2.2 成像模型与光束调整 | 第98-99页 |
4.3 基于点源显示镜的入射光线标定 | 第99-102页 |
4.4 检测实验 | 第102-112页 |
4.4.1 实验装置及设备 | 第102-103页 |
4.4.2 检测过程及数据处理 | 第103-109页 |
4.4.3 检测结果与分析 | 第109-112页 |
4.5 本章小结 | 第112-114页 |
第5章 基于PMD的正弦条纹反射检测系统研究 | 第114-128页 |
5.1 引言 | 第114-115页 |
5.2 基于PMD的正弦条纹反射法的检测原理 | 第115-120页 |
5.3 计算机仿真与误差分析 | 第120-121页 |
5.4 系统几何测量与标定 | 第121-123页 |
5.4.1 入射光线标定 | 第121-122页 |
5.4.2 反射光线标定 | 第122-123页 |
5.5 检测实验 | 第123-126页 |
5.6 本章小结 | 第126-128页 |
第6章 条纹反射法检测大口径非球面镜 | 第128-140页 |
6.1 引言 | 第128-129页 |
6.2 实验装置 | 第129页 |
6.3 实验过程与数据处理 | 第129-136页 |
6.3.1 实验过程 | 第129-133页 |
6.3.2 数据处理 | 第133-136页 |
6.4 测量结果分析 | 第136-138页 |
6.5 本章小结 | 第138-140页 |
第7章 总结与展望 | 第140-142页 |
7.1 全文总结 | 第140-141页 |
7.2 创新点 | 第141页 |
7.3 下一步工作计划 | 第141-142页 |
参考文献 | 第142-152页 |
在学期间学术成果情况 | 第152-153页 |
指导教师及作者简介 | 第153-154页 |
致谢 | 第154页 |