| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究目的和意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 周期性纳米结构发展概述 | 第10-13页 |
| 1.2.2 光散射研究发展概述 | 第13-14页 |
| 1.3 论文结构安排 | 第14-16页 |
| 2 光散射分析计算方法 | 第16-22页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 分析计算方法 | 第16-20页 |
| 2.2.1 严格耦合波分析法 | 第16-17页 |
| 2.2.2 T矩阵法 | 第17页 |
| 2.2.3 时域有限差分法 | 第17-18页 |
| 2.2.4 离散偶极子近似 | 第18页 |
| 2.2.5 有限元法 | 第18-19页 |
| 2.2.6 矩量法 | 第19-20页 |
| 2.3 分析方法对比 | 第20页 |
| 2.4 小结 | 第20-22页 |
| 3 基于有限元仿真的可靠性验证 | 第22-29页 |
| 3.1 引言 | 第22-23页 |
| 3.2 仿真软件概述 | 第23-24页 |
| 3.3 基于有限元仿真的可靠性验证 | 第24-28页 |
| 3.3.1 验证一 | 第24-26页 |
| 3.3.2 验证二 | 第26-28页 |
| 3.3.3 验证三 | 第28页 |
| 3.4 小结 | 第28-29页 |
| 4 一维周期性纳米结构光散射分布特性研究 | 第29-55页 |
| 4.1 引言 | 第29页 |
| 4.2 基于麦克斯韦方程及有限元法的理论分析 | 第29-36页 |
| 4.2.1 基于麦克斯韦方程的RF电磁理论 | 第29-30页 |
| 4.2.2 周期性条纹状纳米结构模型定义 | 第30-32页 |
| 4.2.3 参数分析 | 第32-33页 |
| 4.2.4 边界条件分析 | 第33-35页 |
| 4.2.5 区域划分 | 第35-36页 |
| 4.3 一维周期性纳米结构光散射分布的模拟仿真 | 第36-39页 |
| 4.3.1 TE波散射电场仿真 | 第36-37页 |
| 4.3.2 TM波散射电场仿真 | 第37-39页 |
| 4.4 一维周期性纳米结构光散射分布特性的结果分析 | 第39-46页 |
| 4.4.1 入射角与反射系数的折线图分析 | 第39-40页 |
| 4.4.2 同一入射角纵横向散射强度变化 | 第40-42页 |
| 4.4.3 不同入射角纵横向散射强度变化 | 第42-46页 |
| 4.5 多种一维周期性纳米结构光散射分布的模拟仿真 | 第46-54页 |
| 4.5.1 半圆散射电场变化 | 第48-49页 |
| 4.5.2 三角形散射电场变化 | 第49-50页 |
| 4.5.3 矩形散射电场变化 | 第50页 |
| 4.5.4 多种一维周期性纳米结构光散射电场分布规律 | 第50-51页 |
| 4.5.5 多种一维周期性纳米结构光散射后处理分析对比 | 第51-53页 |
| 4.5.6 一维周期性条纹状纳米结构简单缺陷的模拟仿真 | 第53-54页 |
| 4.6 小结 | 第54-55页 |
| 5 二维周期性纳米结构光散射分布特性研究 | 第55-70页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 二维周期性纳米结构模型的理论研究 | 第55-64页 |
| 5.2.1 基于麦克斯韦方程的各域波动方程 | 第55-57页 |
| 5.2.2 模型定义 | 第57-59页 |
| 5.2.3 端口和S散射参数 | 第59-61页 |
| 5.2.4 周期性边界条件 | 第61-62页 |
| 5.2.5 完美匹配层(PML) | 第62-63页 |
| 5.2.6 区域划分 | 第63-64页 |
| 5.2.7 变量定义 | 第64页 |
| 5.3 基于有限元软件对二维周期性纳米结构散射建模仿真 | 第64-67页 |
| 5.3.1 yz平面散射分布仿真 | 第65-66页 |
| 5.3.2 xz平面散射分布仿真 | 第66-67页 |
| 5.4 后处理及简要分析 | 第67-68页 |
| 5.4.1 总功耗密度 | 第67页 |
| 5.4.2 散射截面、吸收界面、消光截面 | 第67-68页 |
| 5.5 小结 | 第68-70页 |
| 6 结论与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
