| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 硅酸镓镧简介 | 第11-16页 |
| 1.2.1 硅酸镓镧的晶体结构 | 第11-12页 |
| 1.2.2 硅酸镓镧的制备方法 | 第12-16页 |
| 1.3 国内外研究历史与现状 | 第16-18页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 溶胶凝胶成膜原理与薄膜表征方法 | 第20-30页 |
| 2.1 溶胶凝胶法概述 | 第20-25页 |
| 2.1.1 溶胶凝胶法的发展历史 | 第20页 |
| 2.1.2 溶胶凝胶法原理 | 第20-21页 |
| 2.1.3 溶胶凝胶法的工艺流程 | 第21-22页 |
| 2.1.4 溶胶凝胶法成膜方法 | 第22-24页 |
| 2.1.5 溶胶凝胶法的优缺点 | 第24-25页 |
| 2.2 实验中的测试方法及原理 | 第25-29页 |
| 2.2.1 热重差热分析 | 第25-26页 |
| 2.2.2 X射线衍射分析 | 第26-27页 |
| 2.2.3 原子力显微镜分析 | 第27-28页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜分析 | 第28-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 溶胶凝胶法制备LGS薄膜初步研究 | 第30-40页 |
| 3.1 本文所用的试剂及仪器 | 第30页 |
| 3.2 LGS薄膜制备过程 | 第30-33页 |
| 3.2.1 溶胶的制备 | 第31-33页 |
| 3.2.2 旋转涂覆法成膜 | 第33页 |
| 3.2.3 薄膜的干燥和高温热处理 | 第33页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第33-39页 |
| 3.3.1 溶胶的热分析 | 第33-34页 |
| 3.3.2 硅基片与蓝宝石基片上生长LGS薄膜对比 | 第34-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 蓝宝石表面制备LGS薄膜工艺研究 | 第40-62页 |
| 4.1 柠檬酸添加量对LGS薄膜的影响 | 第40-43页 |
| 4.2 高温热处理对LGS薄膜的影响 | 第43-47页 |
| 4.3 干燥前处理温度对LGS薄膜的影响 | 第47-50页 |
| 4.4 交叉热处理工艺制备LGS薄膜 | 第50-54页 |
| 4.5 溶胶浓度对LGS薄膜的影响 | 第54-59页 |
| 4.6 以乙二醇为溶剂制备LGS薄膜探究 | 第59-61页 |
| 4.7 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 结论 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第69-70页 |