激光微加工在线检测系统的研究与开发

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 绪论	第9-16页
1.1 课题研究的背景及意义	第9-10页
1.2 国内外研究概况	第10-14页
1.3 论文的主要研究内容	第14-16页
2 基本概念与系统结构	第16-24页
2.1 表面粗糙度的基本概念	第16-18页
2.2 激光在线检测系统结构设计	第18-20页
2.3 激光传感器的选型及其工作原理	第20-22页
2.4 步进电机运动控制系统	第22-23页
2.5 本章小结	第23-24页
3 数据处理技术的研究	第24-50页
3.1 采集数据的降噪研究	第24-29页
3.2 激光刻蚀表面粗糙度测量与计算	第29-40页
3.3 工件表面激光刻蚀尺寸的测量	第40-46页
3.4 轮廓测量中倾斜问题的研究	第46-48页
3.5 本章小结	第48-50页
4 应用软件与实验	第50-61页
4.1 应用软件的开发	第50-53页
4.2 检测系统实验验证与校准	第53-56页
4.3 检测系统在线检测实例	第56-59页
4.4 检测系统在三维曲面测量上的应用	第59-60页
4.5 本章小结	第60-61页
5 总结与展望	第61-63页
5.1 研究总结	第61-62页
5.2 工作展望	第62-63页
致谢	第63-64页
参考文献	第64-67页