| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-30页 |
| 1.1 课题的研究背景和研究意义 | 第13-14页 |
| 1.2 研究现状和趋势 | 第14-27页 |
| 1.2.1 表面微结构加工技术的研究及应用现状 | 第14-15页 |
| 1.2.2 微结构阵列表面的 3D形貌检测和微观形貌重建的研究及应用现状 | 第15-17页 |
| 1.2.3 微结构表面的各向异性润湿性 | 第17-21页 |
| 1.2.4 不规则粗糙表面的润湿性 | 第21-22页 |
| 1.2.5 微结构光学表面光学性能的研究及应用现状 | 第22-27页 |
| 1.3 课题来源和主要研究内容 | 第27-30页 |
| 第二章 单晶硅、玻璃和碳化硅的微结构精密磨削工艺及参数 | 第30-43页 |
| 2.1 砂轮微型尖端的修整 | 第30-31页 |
| 2.2 加工工艺参数设计 | 第31-36页 |
| 2.3 表面精度评价 | 第36-42页 |
| 2.3.1 | 第36-39页 |
| 2.3.2 | 第39-42页 |
| 2.4 本章小节 | 第42-43页 |
| 第三章 磨削微结构阵列三维表面的重建和形貌特征表征 | 第43-64页 |
| 3.1 引言 | 第43-44页 |
| 3.2 点云数据配准 | 第44-45页 |
| 3.2.1 数据的采集技术 | 第44页 |
| 3.2.2 数据的预处理技术 | 第44-45页 |
| 3.2.3 数据的配准 | 第45页 |
| 3.3 微结构表面的 3D形貌的匹配 | 第45-55页 |
| 3.3.1 检测 | 第45-46页 |
| 3.3.2 数据的预处理 | 第46-47页 |
| 3.3.3 理论模型的建立 | 第47-48页 |
| 3.3.4 模型点云与检测点云的ICP匹配 | 第48-50页 |
| 3.3.5 精密三维形貌的重建 | 第50-55页 |
| 3.4 微锥塔碳化硅（SiC）表面的加工 | 第55-56页 |
| 3.5 表面精度的评价 | 第56-62页 |
| 3.5.1 匹配精度 | 第56-57页 |
| 3.5.2 组合误差 | 第57-58页 |
| 3.5.3 形貌误差 | 第58-60页 |
| 3.5.4 特征轮廓误差 | 第60-61页 |
| 3.5.5 配准效率 | 第61-62页 |
| 3.6 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 规则微结构阵列硅表面各向异性及其润湿性 | 第64-86页 |
| 4.1 引言 | 第64-65页 |
| 4.2 微V沟槽阵列硅表面的加工 | 第65-66页 |
| 4.3 理论模型的构建 | 第66-71页 |
| 4.3.1 微结构阵列几何模型 | 第66-67页 |
| 4.3.2 润湿角理论模型 | 第67-71页 |
| 4.4 实验 | 第71-73页 |
| 4.5 结果与讨论 | 第73-85页 |
| 4.5.1 微V沟槽阵列的润湿特性 | 第73-75页 |
| 4.5.2 微V沟槽阵列表面的钉扎效应 | 第75-76页 |
| 4.5.3 微V沟槽阵列表面液滴的滑动效应 | 第76-77页 |
| 4.5.4 微V沟槽表面润湿性的鲁棒性 | 第77-79页 |
| 4.5.5 微结构阵列表面微结构特征参数与润湿性的关系 | 第79-82页 |
| 4.5.6 微沟槽的深宽比以及微沟槽梯度与接触角的关系 | 第82-85页 |
| 4.6 本章小结 | 第85-86页 |
| 第五章 非规则微结构硅表面的特征化参数及其润湿性 | 第86-112页 |
| 5.1 引言 | 第86页 |
| 5.2 非规则微结构表面的加工 | 第86-87页 |
| 5.3 ,测试 | 第87-90页 |
| 5.3.1 接触角的测试 | 第87页 |
| 5.3.2 形貌的测试 | 第87-90页 |
| 5.4 非规则微结构表面的形貌表征 | 第90-101页 |
| 5.4.1 非规则结构阵列表面的面形比 | 第93-94页 |
| 5.4.2 非规则结构阵列表面的粗糙度 γw和有效体积比 χ | 第94-96页 |
| 5.4.3 分型 | 第96-101页 |
| 5.5 结构化表面的润湿理论 | 第101-108页 |
| 5.5.1 经典Wenzel和Cassie模型 | 第101-102页 |
| 5.5.2 分型润湿模型 | 第102-103页 |
| 5.5.3 非规则润湿模型 | 第103-108页 |
| 5.6 表面特征参数对非规则结构化表面润湿性的影响 | 第108-111页 |
| 5.7 本章小结 | 第111-112页 |
| 第六章 微棱镜阵列的微光学特性及其光伏特性 | 第112-128页 |
| 6.1 引言 | 第112-113页 |
| 6.2 太阳能电池工作原理 | 第113-115页 |
| 6.3 微结构太阳能电池的光学模型 | 第115-118页 |
| 6.3.1 光学性质 | 第115-116页 |
| 6.3.2 微棱镜结构设计 | 第116-118页 |
| 6.4 实验 | 第118-121页 |
| 6.4.1 微沟槽光学棱镜的加工 | 第118-120页 |
| 6.4.2 测试方法 | 第120-121页 |
| 6.5 结果与讨论 | 第121-127页 |
| 6.5.1 光学特性 | 第121-122页 |
| 6.5.2 光伏特性 | 第122-126页 |
| 6.5.3 太阳能电池的发电能力 | 第126-127页 |
| 6.6 本章小结 | 第127-128页 |
| 第七章 衍射微棱镜阵列的防红外光学特性及其光伏特性 | 第128-155页 |
| 7.1 引言 | 第128-129页 |
| 7.2 衍射微棱镜模型 | 第129-146页 |
| 7.2.1 衍射微棱镜的几何模型 | 第129页 |
| 7.2.2 微棱镜的光学模型 | 第129-130页 |
| 7.2.3 周期性微结构衍射特性建模理论 | 第130-135页 |
| 7.2.4 严格耦合波分析建模理论 | 第135-141页 |
| 7.2.5 微棱镜结构阵列反射衍射效率 | 第141-146页 |
| 7.3 加工与测试方法 | 第146-148页 |
| 7.3.1 加工方法 | 第146-147页 |
| 7.3.2 测试与表征 | 第147-148页 |
| 7.4 结果与讨论 | 第148-153页 |
| 7.5 本章小结 | 第153-155页 |
| 结论与展望 | 第155-160页 |
| 主要工作和结论 | 第155-157页 |
| 创新点 | 第157-158页 |
| 展望 | 第158-160页 |
| 参考文献 | 第160-172页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第172-174页 |
| 致谢 | 第174-176页 |
| 附件 | 第176页 |
