| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 扫描探针显微镜简介 | 第13-19页 |
| 1.2.1 扫描隧道显微镜的原理及工作模式 | 第13-15页 |
| 1.2.2 扫描隧道显微镜的优点及局限性 | 第15-16页 |
| 1.2.3 原子力显微镜的原理及工作模式 | 第16-18页 |
| 1.2.4 原子力显微镜的优点及局限性 | 第18-19页 |
| 1.3 基于扫描探针显微镜的多功能扩展 | 第19-22页 |
| 1.3.1 国内外基于SPM系统的拓展功能研发 | 第19-20页 |
| 1.3.2 国内外基于SPM系统的多探针技术研究 | 第20-22页 |
| 1.4 本文的选题意义及研究内容 | 第22-25页 |
| 1.4.1 本文的选题意义 | 第22页 |
| 1.4.2 本文的研究内容 | 第22-25页 |
| 第2章 多探针定位扫描的设计方案 | 第25-31页 |
| 2.1 定位设计的总体思路 | 第25-26页 |
| 2.1.1 现有设备介绍 | 第25-26页 |
| 2.1.2 定位设计思路 | 第26页 |
| 2.2 切换定位运动方案探讨与选择 | 第26-29页 |
| 2.3 关键问题概述 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 手动式多功能组合探针系统研制 | 第31-48页 |
| 3.1 探针切换定位运动模块设计 | 第31-34页 |
| 3.1.1 商用手动高精度移动定位平台 | 第31-32页 |
| 3.1.2 手动高精度移动定位平台的设计 | 第32-34页 |
| 3.2 系统密封设计 | 第34-41页 |
| 3.2.1 光窗材质的选择 | 第35页 |
| 3.2.2 真空密封设计 | 第35-39页 |
| 3.2.3 石英玻璃承压仿真分析 | 第39-41页 |
| 3.3 探针支撑结构设计 | 第41-44页 |
| 3.3.1 探针夹具设计 | 第41-43页 |
| 3.3.2 探针夹具过度结构设计 | 第43-44页 |
| 3.4 腔体结构设计 | 第44-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 简易测温系统设计 | 第48-54页 |
| 4.1 设计真空测温系统的必要性 | 第48-50页 |
| 4.2 测温模块的选择与连接 | 第50-52页 |
| 4.2.1 测温传感器选择 | 第50页 |
| 4.2.2 测温零部件的连接 | 第50-52页 |
| 4.3 电输入密封结构设计 | 第52-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 自动式多功能组合探针系统初步设计 | 第54-65页 |
| 5.1 扫描探针显微镜与拉曼光谱联用的必要性及其形式 | 第54-57页 |
| 5.1.1 拉曼散射与拉曼光谱简介 | 第54-55页 |
| 5.1.2 目前扫描探针显微镜集成拉曼光谱联用的主要模式 | 第55-57页 |
| 5.2 多功能组合探针定位平台设计 | 第57-60页 |
| 5.2.1 定位器件选择 | 第57-59页 |
| 5.2.2 定位平台设计 | 第59-60页 |
| 5.3 “自动式”系统与拉曼光谱联用初步设计构想 | 第60-64页 |
| 5.3.1 拉曼物镜与探针偶联方式 | 第60-61页 |
| 5.3.2 自动式多功能组合探针系统结构初步设计 | 第61-64页 |
| 5.4 本章小节 | 第64-65页 |
| 结论与展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第73页 |