| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 激光高反膜的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.1 激光高反膜概述 | 第9页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.3 国外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第11-12页 |
| 1.3.2 研究技术路线 | 第12页 |
| 1.4 本章小结 | 第12-13页 |
| 2 光学薄膜的激光损伤理论 | 第13-21页 |
| 2.1 光学薄膜的性质与损伤的关系 | 第13-14页 |
| 2.1.1 光学薄膜的性质 | 第13页 |
| 2.1.2 光学薄膜对激光的吸收和散射 | 第13-14页 |
| 2.1.3 光学薄膜的驻波场和温度场 | 第14页 |
| 2.2 光学薄膜的制备工艺与对激光损伤的影响 | 第14-16页 |
| 2.3 光学薄膜损伤机理与损伤判定 | 第16-17页 |
| 2.3.1 光学薄膜的损伤机理 | 第16页 |
| 2.3.2 高反膜的激光损伤判定 | 第16-17页 |
| 2.4 光学薄膜损伤阈值的测试 | 第17-20页 |
| 2.4.1 激光损伤阈值的检测标准 | 第17-18页 |
| 2.4.2 损伤阈值测试的相关概念 | 第18-20页 |
| 2.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 1064nm激光高反膜的设计与制备 | 第21-30页 |
| 3.1 膜系设计理论 | 第21-24页 |
| 3.2 激光高反膜的制备工艺 | 第24-25页 |
| 3.3 薄膜材料的选择 | 第25-28页 |
| 3.3.1 材料的热力学性质和机械性能 | 第25页 |
| 3.3.2 材料的吸收系数和纯度 | 第25页 |
| 3.3.3 实验中选择的薄膜材料 | 第25-28页 |
| 3.4 单层金属膜的制备 | 第28页 |
| 3.5 介质保护膜的制备 | 第28-29页 |
| 3.6 金属-介质膜的制备 | 第29页 |
| 3.7 本章小结 | 第29-30页 |
| 4 1064nm激光高反膜的性能表征 | 第30-50页 |
| 4.1 光学性能和厚度测试 | 第30-37页 |
| 4.1.1 Lambda950紫外可见近红外分光光度计 | 第30-31页 |
| 4.1.2 单层金属膜光谱特性测试 | 第31-33页 |
| 4.1.3 单层金属膜的厚度测试 | 第33-35页 |
| 4.1.4 金属-介质膜光谱特性测试 | 第35-37页 |
| 4.2 激光损伤阈值测试 | 第37-44页 |
| 4.2.1 实验装置的搭建 | 第37-39页 |
| 4.2.2 单层金属膜的损伤阈值测试 | 第39-41页 |
| 4.2.3 1064nm金属-介质高反膜损伤阈值测试 | 第41-42页 |
| 4.2.4 金属-介质高反膜的损伤形貌和特性变化 | 第42-44页 |
| 4.3 金属铝膜和金属银膜性能对比 | 第44-46页 |
| 4.3.1 金属铝膜和金属银膜性能对比 | 第44-45页 |
| 4.3.2 金属铝介质膜和金属银介质膜性能对比 | 第45-46页 |
| 4.4 工艺优化及提高损伤阈值的方法 | 第46-49页 |
| 4.4.1 工艺改进 | 第46页 |
| 4.4.2 对薄膜进行激光预处理 | 第46-48页 |
| 4.4.3 提高金属薄膜损伤阈值的方法 | 第48-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 结论与展望 | 第50-52页 |
| 5.1 结论 | 第50页 |
| 5.2 展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |