| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 大角度减反膜国内外研究现状 | 第8-11页 |
| 1.2.1 亚波长型大角度减反膜 | 第9-10页 |
| 1.2.2 多孔型大角度减反膜 | 第10页 |
| 1.2.3 均质型大角度减反射膜 | 第10-11页 |
| 1.3 PECVD技术研究现状 | 第11-13页 |
| 1.4 研究内容和预期目标 | 第13-14页 |
| 1.4.1 课题研究的主要内容和重点 | 第13页 |
| 1.4.2 预期达到的目标 | 第13-14页 |
| 2 课题方案和可行性论证 | 第14-21页 |
| 2.1 研究方案及技术路线 | 第14-15页 |
| 2.2 方案可行性论证 | 第15-21页 |
| 2.2.1 膜系设计的可行性论证 | 第15-17页 |
| 2.2.2 PECVD制备的可行性论证 | 第17-19页 |
| 2.2.3 测试的可行性论证 | 第19-21页 |
| 3 光学薄膜特性理论 | 第21-25页 |
| 3.1 光在均匀介质中的传播规律 | 第21-22页 |
| 3.2 渐变折射率薄膜的波动形式 | 第22-25页 |
| 4 400nm-700nm波段0-50°大角度减反膜膜系设计 | 第25-37页 |
| 4.1 Needle设计0-50°大角度减反膜 | 第25-30页 |
| 4.1.1 初始结构的选取 | 第25-27页 |
| 4.1.2 膜系的优化 | 第27-30页 |
| 4.2 傅里叶变换法设计大角度减反膜 | 第30-32页 |
| 4.2.1 傅里叶合成法原理 | 第30-31页 |
| 4.2.2 Q函数和位相函数的选取 | 第31-32页 |
| 4.2.3 膜系结构的优化 | 第32页 |
| 4.3 非均匀优化设计 | 第32-34页 |
| 4.4 大角度减反膜膜系比较 | 第34-37页 |
| 4.4.1 膜系允差值的分析计算 | 第34-36页 |
| 4.4.2 膜系结构及减反效果比较 | 第36-37页 |
| 5 0-50°大角度减反膜制备 | 第37-46页 |
| 5.1 单层膜工艺实验 | 第37-41页 |
| 5.1.1 低折射率薄膜工艺稳定性研究 | 第37-39页 |
| 5.1.2 PECVD制备1.49折射率薄膜 | 第39页 |
| 5.1.3 PECVD制备1.68折射率薄膜 | 第39-40页 |
| 5.1.4 PECVD制备1.82折射率薄膜 | 第40-41页 |
| 5.2 大角度减反膜镀制 | 第41-43页 |
| 5.3 大角度减反膜的测试和分析 | 第43-46页 |
| 5.3.1 误差分析 | 第44-46页 |
| 6 400nm-700nm波段0-80°大角度减反膜系设计探索 | 第46-68页 |
| 6.1 Needle优化 | 第46-51页 |
| 6.1.1 方案1的探索设计 | 第48-49页 |
| 6.1.2 方案2的探索设计 | 第49-50页 |
| 6.1.3 方案4的探索设计 | 第50-51页 |
| 6.2 Random OptimiZation(随机优化) | 第51-59页 |
| 6.2.1 随机优化时间的探索 | 第53-54页 |
| 6.2.2 随机优化参数的探索 | 第54-56页 |
| 6.2.3 高低折射率的差值D | 第56-57页 |
| 6.2.4 低折射率L | 第57-58页 |
| 6.2.5 随机优化设计实例 | 第58-59页 |
| 6.3 非均匀优化 | 第59-64页 |
| 6.3.1 非均匀优化参数的设定 | 第60页 |
| 6.3.2 高低折射率差值D | 第60-61页 |
| 6.3.3 最低折射率L | 第61-62页 |
| 6.3.4 非均匀优化设计实例 | 第62-64页 |
| 6.4 Rugate优化 | 第64-68页 |
| 6.4.1 Rugate优化设计实例 | 第66-68页 |
| 7 结论 | 第68-70页 |
| 7.1 结论 | 第68页 |
| 7.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
