APE MgO:LiNbO3脊波导的设计、制备及性能测试
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 铌酸锂晶体 | 第8-9页 |
| 1.2 铌酸锂光波导研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 1.4 本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 铌酸锂光波导制备工艺 | 第14-24页 |
| 2.1 离子交换法 | 第14-16页 |
| 2.2 腐蚀法 | 第16-21页 |
| 2.2.1 铌酸锂湿法腐蚀 | 第16-19页 |
| 2.2.2 铌酸锂干法刻蚀 | 第19-21页 |
| 2.3 键合法 | 第21-23页 |
| 2.3.1 直接键合法 | 第21-22页 |
| 2.3.2 黏胶键合法 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 铌酸锂脊形光波导模型建立与仿真 | 第24-36页 |
| 3.1 退火质子交换折射率分布模型 | 第24-27页 |
| 3.1.1 质子交换折射率分布 | 第24-26页 |
| 3.1.2 退火后折射率分布 | 第26-27页 |
| 3.2 脊形光波导结构设计 | 第27-30页 |
| 3.3 脊形光波导模场特性分析 | 第30-35页 |
| 3.3.1 质子交换脊波导模场特性分析 | 第30-33页 |
| 3.3.2 反质子交换脊波导模场特性分析 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 退火质子交换脊形光波导的制备 | 第36-47页 |
| 4.1 制备工艺流程概况 | 第36-37页 |
| 4.2 退火质子交换 | 第37-42页 |
| 4.2.1 质子交换 | 第37-40页 |
| 4.2.2 退火工艺 | 第40-42页 |
| 4.3 金刚石划片机精密切割工艺 | 第42-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 脊形光波导性能测试分析 | 第47-58页 |
| 5.1 实验测试平台的搭建 | 第47-48页 |
| 5.2 脊波导传输损耗性能测试 | 第48-52页 |
| 5.2.1 1064nm波段脊波导传输损耗 | 第49-51页 |
| 5.2.2 1550nm波段脊波导传输损耗 | 第51-52页 |
| 5.3 近红外波段脊波导传输模场分布 | 第52-57页 |
| 5.3.1 1064nm波段脊波导传输模场分布 | 第52-54页 |
| 5.3.2 1550nm波段脊波导传输模场分布 | 第54-56页 |
| 5.3.3 实验结果与仿真对比 | 第56-57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 总结 | 第58页 |
| 6.2 展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
