大口径光学元件表面疵病检测
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 传统光学仪器检测方法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 现代机器视觉检测方法 | 第11-13页 |
| 1.3 论文主要研究内容及章节安排 | 第13-14页 |
| 2 疵病检测系统的总体设计方案 | 第14-23页 |
| 2.1 疵病成像原理 | 第14页 |
| 2.2 系统框架 | 第14-15页 |
| 2.3 系统硬件部分 | 第15-19页 |
| 2.3.1 照明系统 | 第16-17页 |
| 2.3.2 图像采集系统 | 第17页 |
| 2.3.3 运动控制系统 | 第17-19页 |
| 2.4 系统软件部分 | 第19-22页 |
| 2.4.1 子孔径图像拼接 | 第20页 |
| 2.4.2 宏观疵病测量 | 第20-21页 |
| 2.4.3 微观疵病测量 | 第21页 |
| 2.4.4 疵病检测结果 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 子孔径图像拼接 | 第23-36页 |
| 3.1 图像拼接的步骤 | 第23-24页 |
| 3.2 图像配准 | 第24-26页 |
| 3.2.1 基于图像灰度的配准算法 | 第24-25页 |
| 3.2.2 基于特征点的图像配准算法 | 第25-26页 |
| 3.3 一种快速高精度的配准算法 | 第26-30页 |
| 3.3.1 阈值分割提取目标 | 第27-28页 |
| 3.3.2 外接矩形确定配准角度 | 第28-29页 |
| 3.3.3 形心确定配准平移量 | 第29-30页 |
| 3.3.4 图像变换 | 第30页 |
| 3.4 图像融合 | 第30-31页 |
| 3.5 实验结果与分析 | 第31-35页 |
| 3.5.1 配准实验比较 | 第31-33页 |
| 3.5.2 子孔径拼接 | 第33-35页 |
| 3.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 疵病宏观测量 | 第36-46页 |
| 4.1 图像预处理 | 第36-38页 |
| 4.1.1 疵病图像空间滤波去噪 | 第36-37页 |
| 4.1.2 疵病图像分割 | 第37-38页 |
| 4.2 疵病特征提取 | 第38-41页 |
| 4.2.1 顶点链码定义 | 第38-39页 |
| 4.2.2 顶点链码提取 | 第39-40页 |
| 4.2.3 部分特征提取 | 第40-41页 |
| 4.3 疵病分类 | 第41-42页 |
| 4.4 实验结果和分析 | 第42-45页 |
| 4.4.1 疵病特征测量实验 | 第42-43页 |
| 4.4.2 特征选取实验 | 第43页 |
| 4.4.3 核函数对比实验 | 第43-44页 |
| 4.4.4 标准比对实验 | 第44-45页 |
| 4.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 5 疵病微观测量 | 第46-58页 |
| 5.1 聚焦评价函数设计原则 | 第46页 |
| 5.2 典型的聚焦评价函数 | 第46-51页 |
| 5.2.1 基于空域的聚焦评价函数 | 第47-49页 |
| 5.2.2 基于频域的聚焦评价函数 | 第49-50页 |
| 5.2.3 基于信息熵的聚焦评价函数 | 第50页 |
| 5.2.4 存在问题与分析 | 第50-51页 |
| 5.3 基于区域灰度的聚焦评价函数 | 第51-52页 |
| 5.4 聚焦性能指标 | 第52-54页 |
| 5.5 实验结果和分析 | 第54-57页 |
| 5.5.1 聚焦性能比较 | 第54-56页 |
| 5.5.2 微观疵病识别 | 第56-57页 |
| 5.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 总结和展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第63页 |
