超声原子力显微镜的微观力学性能仿真研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 原子力显微镜简介 | 第14-21页 |
| 1.3 超声原子力显微镜的国内外研究现状 | 第21-25页 |
| 1.4 课题研究目的及论文主要内容 | 第25-27页 |
| 第2章 超声原子力显微镜的基本理论 | 第27-40页 |
| 2.1 针尖样品相互作用的基本理论 | 第27-31页 |
| 2.1.1 针尖样品接触理论 | 第27-28页 |
| 2.1.2 局域接触刚度模型 | 第28-29页 |
| 2.1.3 赫兹模型 | 第29-31页 |
| 2.2 悬臂梁动力学理论模型 | 第31-36页 |
| 2.2.1 悬臂梁自由状态下的振动模型 | 第31-33页 |
| 2.2.2 悬臂梁与样品接触时的振动模型 | 第33-36页 |
| 2.3 超声波振幅与相位的变化 | 第36-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第3章 悬臂梁的动态特性分析 | 第40-51页 |
| 3.1 ANSYS有限元法简介 | 第40-41页 |
| 3.2 悬臂梁自由振动模态分析 | 第41-43页 |
| 3.3 悬臂梁的谐响应分析 | 第43-49页 |
| 3.3.1 作用载荷不同对频谱的影响 | 第45-47页 |
| 3.3.2 接触刚度不同对频谱的影响 | 第47-48页 |
| 3.3.3 不同针尖位置对频谱的影响 | 第48-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 样品接触刚度有限元分析 | 第51-62页 |
| 4.1 单一量变化对接触刚度的影响 | 第51-57页 |
| 4.1.1 作用载荷大小变化 | 第52-53页 |
| 4.1.2 内部结构位置变化 | 第53-54页 |
| 4.1.3 内部结构尺寸变化 | 第54-55页 |
| 4.1.4 内部结构形状变化 | 第55-56页 |
| 4.1.5 内部结构材料选择不同 | 第56-57页 |
| 4.2 两者同时变化时接触刚度变化 | 第57-60页 |
| 4.2.1 内部结构材料的尺寸和位置同时变化 | 第57-58页 |
| 4.2.2 内部结构尺寸和材料弹性模量同时变化 | 第58-59页 |
| 4.2.3 内部结构位置和材料弹性模量同时变化 | 第59-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 总结与展望 | 第62-65页 |
| 5.1 论文的主要内容 | 第62-64页 |
| 5.2 未来工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
