| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-21页 |
| 1.2.1 压电陶瓷驱动电源类型 | 第12-16页 |
| 1.2.2 压电陶瓷控制方法 | 第16-20页 |
| 1.2.3 国内外压电陶瓷控制器产品分析 | 第20-21页 |
| 1.3 论文研究的主要目的与内容 | 第21页 |
| 1.4 论文安排 | 第21-22页 |
| 1.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第二章 压电物镜驱动器基本理论介绍 | 第23-31页 |
| 2.1 压电陶瓷的工作原理 | 第23-24页 |
| 2.1.1 正压电效应 | 第23页 |
| 2.1.2 逆压电效应 | 第23-24页 |
| 2.1.3 电致伸缩效应 | 第24页 |
| 2.2 压电陶瓷的特性 | 第24-29页 |
| 2.2.1 迟滞特性 | 第24-26页 |
| 2.2.2 蠕变特性 | 第26-27页 |
| 2.2.3 响应特性 | 第27页 |
| 2.2.4 电容特性 | 第27-29页 |
| 2.3 压电物镜驱动器介绍 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 压电物镜控制器的驱动电源设计 | 第31-54页 |
| 3.1 控制器设计指标提出 | 第31-33页 |
| 3.2 课题组研制的驱动电源问题分析 | 第33-38页 |
| 3.2.1 高压数控电位器分析测试 | 第34-35页 |
| 3.2.2 功率放大电路分析测试 | 第35-36页 |
| 3.2.3 放电回路分析测试 | 第36-38页 |
| 3.3 压电物镜控制器的驱动电源设计 | 第38-45页 |
| 3.3.1 压电物镜控制器的组成 | 第38页 |
| 3.3.2 驱动电源类型选择 | 第38-39页 |
| 3.3.3 放大电路设计 | 第39-42页 |
| 3.3.4 高压直流源设计 | 第42-43页 |
| 3.3.5 微控制器及DAC选择 | 第43-44页 |
| 3.3.6 传感器信号调理模块介绍及ADC选择 | 第44-45页 |
| 3.4 驱动电源性能测试 | 第45-53页 |
| 3.4.1 电压输出线性度 | 第46-47页 |
| 3.4.2 峰值电流 | 第47-49页 |
| 3.4.3 方波响应 | 第49-50页 |
| 3.4.4 静态纹波 | 第50-51页 |
| 3.4.5 频率响应 | 第51-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 压电物镜控制器的控制算法研究与应用 | 第54-71页 |
| 4.1 课题组研究的控制算法问题分析 | 第54-55页 |
| 4.2 压电物镜控制器控制算法研究 | 第55-68页 |
| 4.2.1 逆Preisach前馈补偿控制算法 | 第55-61页 |
| 4.2.2 PID闭环控制算法 | 第61-62页 |
| 4.2.3 逆Preisach前馈补偿结合PID复合控制算法 | 第62页 |
| 4.2.4 三种控制算法实验比较分析 | 第62-68页 |
| 4.3 本文控制器实验测试 | 第68-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-75页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第71-72页 |
| 5.2 存在问题及后续工作展望 | 第72-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读学位期间发表论文情况 | 第80页 |