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飞秒激光制备硅微纳结构的机理及应用研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-19页
    1.1 自然界的微纳结构第10-11页
    1.2 传统微纳结构制备方法第11-14页
        1.2.1 光刻技术第11-12页
        1.2.2 自组装技术第12-13页
        1.2.3 微探针技术第13页
        1.2.4 纳米压印技术第13-14页
    1.3 课题研究背景第14-17页
        1.3.1 激光诱导表面结构第14-16页
        1.3.2 液相激光烧蚀法第16-17页
    1.4 本文主要内容第17-19页
第二章 激光与表面相互作用物理模型第19-24页
    2.1 斯托克斯波与反斯托克斯波干涉模型第19页
    2.2 表面散射波与入射光干涉模型第19-21页
    2.3 熔融毛细波模型第21-22页
    2.4 表面等离子体波与主光束干涉模型第22-24页
第三章 基于晶格缺陷层的激光等离子体波耦合模型第24-35页
    3.1 实验设备的搭建第24-25页
    3.2 不同偏振脉冲序列诱导表面微纳结构第25-30页
        3.2.1 透镜诱导微纳结构第25-26页
        3.2.2 物镜诱导微纳结构第26-30页
    3.3 激光诱导表面周期结构XRD和EDS研究第30-32页
        3.3.1 XRD测试结果第30-31页
        3.3.2 EDS测试结果第31-32页
    3.4 基于晶格缺陷层的耦合模型第32-35页
第四章 基于微流控芯片的液相激光烧蚀法第35-44页
    4.1 制备纳米材料系统的搭建第35-37页
        4.1.1 激光烧蚀微流控芯片制备第35-36页
        4.1.2 微流控加工平台搭建第36-37页
    4.2 微流控激光烧蚀法制备纳米结构第37-41页
        4.2.1 激光烧蚀功率对硅纳米结构表面形貌的影响第37-38页
        4.2.2 吸收光谱和发射光谱测试第38-39页
        4.2.3 烧蚀硅纳米粒子的物理机制第39-41页
    4.3 研究微流控流速与制备效率关系第41-44页
第五章 总结与展望第44-45页
参考文献第45-49页
作者简介及科研情况第49-50页
致谢第50页

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