| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-28页 |
| 1.1 前言 | 第13页 |
| 1.2 铜的物理化学性质 | 第13-15页 |
| 1.3 镀铜工艺的类型 | 第15-22页 |
| 1.3.1 氰化物镀铜 | 第15-16页 |
| 1.3.2 酸性硫酸盐镀铜 | 第16-18页 |
| 1.3.3 焦磷酸盐镀铜 | 第18-19页 |
| 1.3.4 HEDP无氰碱性镀铜 | 第19-21页 |
| 1.3.5 其他镀铜工艺 | 第21-22页 |
| 1.4 铜阳极电化学行为研究现状 | 第22-25页 |
| 1.4.1 酸性介质中铜阳极电化学行为的研究现状 | 第22-24页 |
| 1.4.1.1 磷铜阳极材料的发展及应用 | 第22-23页 |
| 1.4.1.2 酸性条件下铜阳极电化学行为的研究 | 第23-24页 |
| 1.4.2 碱性及其他条件下铜阳极电化学行为的研究现状 | 第24-25页 |
| 1.5 金属阳极过程 | 第25-26页 |
| 1.5.1 金属的阳极溶解 | 第25页 |
| 1.5.2 金属的阳极钝化 | 第25-26页 |
| 1.6 本课题的研究内容及意义 | 第26-28页 |
| 第二章 实验及分析测试方法 | 第28-34页 |
| 2.1 实验试剂及仪器 | 第28-29页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第28页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第28-29页 |
| 2.2 铜阳极材料性能分析 | 第29-30页 |
| 2.2.1 铜阳极材料元素组成及含量分析 | 第29页 |
| 2.2.2 铜阳极材料中磷的分布 | 第29-30页 |
| 2.2.3 铜阳极材料的晶型结构 | 第30页 |
| 2.2.4 电化学实验中所用工作电极的制备 | 第30页 |
| 2.2.5 电化学测试中工作电极预处理 | 第30页 |
| 2.3 电化学测试装置及方法 | 第30-33页 |
| 2.3.1 电化学测试装置 | 第30-31页 |
| 2.3.2 线性扫描伏安法 | 第31-32页 |
| 2.3.3 循环伏安法 | 第32页 |
| 2.3.4 恒电势氧化 | 第32页 |
| 2.3.5 动电势氧化 | 第32页 |
| 2.3.6 恒电流氧化 | 第32-33页 |
| 2.4 电极反应的表观活化能 | 第33页 |
| 2.5 表面形貌分析 | 第33页 |
| 2.6 能谱测试 | 第33-34页 |
| 第三章 铜阳极材料的性能分析 | 第34-38页 |
| 3.1 前言 | 第34页 |
| 3.2 铜阳极材料的元素组成及其含量 | 第34-35页 |
| 3.3 铜阳极材料中磷的分布 | 第35页 |
| 3.4 铜阳极材料的晶型结构 | 第35-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 酸性硫酸盐镀铜体系中铜阳极的电化学行为 | 第38-54页 |
| 4.1 前言 | 第38页 |
| 4.2 酸性硫酸盐体系镀铜中铜阳极的阳极极化曲线 | 第38-40页 |
| 4.3 酸性硫酸盐体系镀铜中铜阳极的循环伏安曲线 | 第40-41页 |
| 4.4 酸性硫酸盐体系镀铜中铜阳极的表观活化能 | 第41-44页 |
| 4.5 铜阳极的恒电势氧化测试 | 第44-46页 |
| 4.6 铜阳极的变恒电势氧化测试 | 第46页 |
| 4.7 铜阳极的恒流氧化测试 | 第46-48页 |
| 4.8 铜阳极氧化后的表面形貌及元素组成 | 第48-50页 |
| 4.9 镀液组成成分对铜阳极电化学溶解的影响 | 第50-52页 |
| 4.9.1 CuSO_4浓度对纯铜阳极溶解的影响 | 第51页 |
| 4.9.2 硫酸浓度对纯铜阳极溶解的影响 | 第51-52页 |
| 4.10 本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 焦磷酸钾体系电镀铜中铜阳极的电化学行为 | 第54-69页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 焦磷酸盐镀铜体系中铜阳极的阳极极化曲线 | 第54-56页 |
| 5.3 铜阳极电化学氧化的表观活化能 | 第56-58页 |
| 5.4 焦磷酸盐体系中铜阳极的恒电势氧化测试 | 第58-61页 |
| 5.5 焦磷酸盐体系中铜阳极的变恒电势氧化 | 第61-62页 |
| 5.6 焦磷酸盐体系中铜阳极的恒流氧化测试 | 第62-64页 |
| 5.7 铜阳极氧化后的表面形貌及元素组成 | 第64-66页 |
| 5.8 镀液组成成分对铜阳极电化学溶解的影响 | 第66-67页 |
| 5.8.1 焦磷酸钾浓度对铜阳极电化学溶解的影响 | 第66-67页 |
| 5.8.2 焦磷酸钾浓度对铜阳极电化学溶解的影响 | 第67页 |
| 5.9 本章小结 | 第67-69页 |
| 第六章 HEDP无氰碱性镀铜体系中的电化学行为 | 第69-84页 |
| 6.1 引言 | 第69页 |
| 6.2 HEDP无氰碱性镀铜体系中铜阳极阳极的极化曲线 | 第69-70页 |
| 6.3 HEDP无氰碱性镀铜体系中铜阳极的恒电势氧化测试 | 第70-72页 |
| 6.4 HEDP无氰镀碱性镀铜体系中铜阳极的变恒电势氧化测试 | 第72-73页 |
| 6.5 HEDP无氰碱性镀铜体系中铜阳极的恒电流氧化测试 | 第73-75页 |
| 6.6 铜阳极氧化后的表面形貌及元素组成 | 第75-77页 |
| 6.7 HEDP无氰碱性镀铜体系中溶液组成对铜阳极电化学溶解的影响 | 第77-79页 |
| 6.7.1 HEDP浓度对铜阳极溶解的影响 | 第77-78页 |
| 6.7.2 硫酸铜浓度对铜阳极溶解的影响 | 第78-79页 |
| 6.7.3 碳酸钾浓度对铜阳极溶解的影响 | 第79页 |
| 6.8 HEDP无氰碱性镀铜体系中电沉积铜的动力学过程研究 | 第79-82页 |
| 6.8.1 循环伏安测试 | 第79-80页 |
| 6.8.2 电沉积铜过程的稳态极化曲线 | 第80-81页 |
| 6.8.3 不同扫描速率下的线性伏安曲线 | 第81-82页 |
| 6.9 本章小结 | 第82-84页 |
| 结论与展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-93页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 附表 | 第95页 |
