多通道聚合物阵列波导光栅的设计和制备
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 聚合物阵列波导光栅的研究进展 | 第11-12页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 光波导分析与阵列波导光栅理论基础 | 第14-28页 |
| 2.1 光波导分析 | 第14-18页 |
| 2.1.1 平板波导 | 第14-16页 |
| 2.1.2 矩形波导有效折射率法(EIM) | 第16-18页 |
| 2.1.3 光束传播法(BPM) | 第18页 |
| 2.2 阵列波导光栅 | 第18-27页 |
| 2.2.1 AWG基本原理 | 第18-22页 |
| 2.2.2 AWG基本设计参数 | 第22-23页 |
| 2.2.3 AWG性能指标 | 第23-24页 |
| 2.2.4 AWG主要应用 | 第24-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 23通道聚合物阵列波导光栅的设计与分析 | 第28-36页 |
| 3.1 AWG设计流程 | 第28-29页 |
| 3.2 AWG基本参数的确定 | 第29-33页 |
| 3.2.1 波导宽度及有效折射率 | 第29-30页 |
| 3.2.2 矩形波导群折射率 | 第30-31页 |
| 3.2.3 衍射级数 | 第31页 |
| 3.2.4 输入输出信道波导间距和阵列波导间距 | 第31页 |
| 3.2.5 阵列波导数 | 第31-32页 |
| 3.2.6 其他基本参数 | 第32-33页 |
| 3.3 AWG设计仿真和版图输出 | 第33-34页 |
| 3.3.1 AWG设计仿真 | 第33页 |
| 3.3.2 AWG版图 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 23通道聚合物阵列波导光栅的制备与测试 | 第36-46页 |
| 4.1 AWG制备 | 第36-41页 |
| 4.1.1 实验仪器介绍 | 第36-37页 |
| 4.1.2 刻蚀工艺优化研究 | 第37页 |
| 4.1.3 制备过程 | 第37-41页 |
| 4.2 AWG测试 | 第41-44页 |
| 4.2.1 光纤与光波导的耦合 | 第41页 |
| 4.2.2 测试平台和测试方法 | 第41-43页 |
| 4.2.3 测试结果分析 | 第43-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第五章 小型化23通道聚合物阵列波导光栅的研制 | 第46-54页 |
| 5.1 结构参数的优化 | 第46-49页 |
| 5.1.1 插入损耗产生的原因及降低的办法 | 第46页 |
| 5.1.2 串扰产生的原因及降低办法 | 第46-47页 |
| 5.1.3 提高插入损耗均匀性的方法 | 第47页 |
| 5.1.4 尺寸减小的方案 | 第47-49页 |
| 5.2 小尺寸23通道聚合物AWG的制备和测试 | 第49-50页 |
| 5.3 高折射率差23通道聚合物AWG的研制 | 第50-53页 |
| 5.4 小型化23通道聚合物AWG测试结果与分析 | 第53页 |
| 5.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 总结与展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |
