| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9页 |
| 1.2 压电俘能器国内外研究现状 | 第9-17页 |
| 1.2.1 硅基压电俘能器基底的研究 | 第9-13页 |
| 1.2.2 柔性基底压电俘能器的研究 | 第13-17页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第17-18页 |
| 2 d_(33)模式压电俘能器基本原理 | 第18-24页 |
| 2.1 压电效应和压电方程 | 第18-19页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第18页 |
| 2.1.2 d_(33)模式压电耦合方程 | 第18-19页 |
| 2.2 压电俘能器谐振频率的计算 | 第19-22页 |
| 2.3 表面叉指电极俘能器的等效电容和有效电极间距的计算 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 柔性基底d_(33)模式压电俘能器发电性能分析与结构设计 | 第24-34页 |
| 3.1 柔性基底d_(33)模式压电俘能器的结构设计 | 第24-25页 |
| 3.2 柔性基底d_(33)模式压电俘能器的理论模型 | 第25-27页 |
| 3.2.1 全叉指电极d_(33)模式压电俘能器的机电耦合模型 | 第25-27页 |
| 3.2.2 表面叉指电极d_(33)模式压电俘能器的机电耦合模型 | 第27页 |
| 3.3 硅基表面d_(33)模式和全d_(33)模式俘能器输出功率对比 | 第27-30页 |
| 3.4 不锈钢基全d_(33)模式压电俘能器输出功率的仿真分析 | 第30-33页 |
| 3.4.1 叉指电极宽度对俘能器输出功率的影响 | 第30-31页 |
| 3.4.2 激振加速度对俘能器输出功率的影响 | 第31-32页 |
| 3.4.3 压电膜厚对俘能器输出功率的影响 | 第32-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 柔性基底压电俘能器的制作工艺研究 | 第34-49页 |
| 4.1 不锈钢基底d_(33)模式压电俘能器工艺探究 | 第34-44页 |
| 4.1.1 不锈钢基压电俘能器工艺流程 | 第34-38页 |
| 4.1.2 PZT压电材料的制备 | 第38-42页 |
| 4.1.3 PZT压电材料的退火与结构表征 | 第42-44页 |
| 4.2 聚酰亚胺基底PVDF压电俘能器制作工艺探究 | 第44-48页 |
| 4.2.1 d_(33)和d_(31)模式俘能器基本结构设计 | 第44-45页 |
| 4.2.2 d_(33)和d_(31)模式俘能器底电极的制备 | 第45-46页 |
| 4.2.3 PVDF薄膜再极化研究 | 第46-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 微压电俘能器性能测试系统 | 第49-55页 |
| 5.1 激振频率对俘能器开路电压的影响 | 第49-50页 |
| 5.2 激振强度对俘能器开路电压的影响 | 第50-51页 |
| 5.3 负载对俘能器发电能力的影响 | 第51-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录A 叉指状电容计算的Matlab程序 | 第60-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
