| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光子晶体传感器国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 论文结构安排 | 第13-15页 |
| 第二章 光子晶体压力传感器的基本理论 | 第15-28页 |
| 2.1 光子晶体的基本理论研究方法 | 第15-23页 |
| 2.1.1 平面波展开法 | 第17-20页 |
| 2.1.2 传输矩阵法 | 第20-21页 |
| 2.1.3 时域有限差分法 | 第21-22页 |
| 2.1.4 有限元法 | 第22-23页 |
| 2.2 光子晶体压力传感器的理论研究方法 | 第23-25页 |
| 2.3 光子晶体制备工艺 | 第25-27页 |
| 2.3.1 精密机械加工法 | 第25-26页 |
| 2.3.2 交替沉膜法 | 第26页 |
| 2.3.3 半导体制造法 | 第26页 |
| 2.3.4 多光束干涉法 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 柱型光子晶体压力传感器的结构设计与分析 | 第28-46页 |
| 3.1 正方格子柱型光子晶体压力传感器的结构设计与分析 | 第28-36页 |
| 3.1.1 光子晶体能带分析 | 第28-29页 |
| 3.1.2 光子晶体缺陷模式分析 | 第29-32页 |
| 3.1.3 光子晶体压力传感器结构与性能分析 | 第32-36页 |
| 3.2 三角格子柱型光子晶体压力传感器的结构设计与分析 | 第36-44页 |
| 3.2.1 光子晶体能带分析 | 第36-37页 |
| 3.2.2 光子晶体缺陷模式分析 | 第37-39页 |
| 3.2.3 光子晶体压力传感器结构与性能分析 | 第39-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 孔型光子晶体压力传感器的结构设计与分析 | 第46-62页 |
| 4.1 正方格子孔型光子晶体压力传感器的结构设计与分析 | 第46-53页 |
| 4.1.1 光子晶体能带分析 | 第46-47页 |
| 4.1.2 光子晶体缺陷模式分析 | 第47-49页 |
| 4.1.3 光子晶体压力传感器结构与性能分析 | 第49-53页 |
| 4.2 三角格子孔型光子晶体压力传感器结构设计与分析 | 第53-60页 |
| 4.2.1 光子晶体能带分析 | 第53-54页 |
| 4.2.2 光子晶体缺陷模式导分析 | 第54-56页 |
| 4.2.3 光子晶体压力传感器结构与性能分析 | 第56-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 各类光子晶体压力传感器性能比较 | 第62-67页 |
| 5.1 窄带滤波型光子晶体压力传感器 | 第62-64页 |
| 5.1.1 光子晶体窄带滤波器基本原理 | 第62页 |
| 5.1.2 窄带滤波型光子晶体压力传感器性能比较 | 第62-64页 |
| 5.2 其他类型的光子晶体压力传感器 | 第64-66页 |
| 5.2.1 带阻型光子晶体压力传感器 | 第64-65页 |
| 5.2.2 形变型光子晶体压力传感器 | 第65-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 全文小结 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第71-72页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
